探针台探针与样品的接触方式

探针台探针与样品的接触方式根据应用场景及设备类型的不同，主要可分为以下几种形式：

一、机械定位接触式

1.‌手动定位调整‌

通过X/Y/Z轴旋钮或移动手柄手动调节探针座位置，逐步将探针尖端移动至待测点上方，再通过Z轴下压完成接触。此方式需结合显微镜观察，确保探针与样品表面精准对齐。

‌操作示例‌：在显微镜低倍物镜下定位样品后，切换高倍物镜微调待测点位置，再通过探针座三轴微调旋钮实现接触。

2.‌机械臂辅助定位‌

利用机械手控制探针臂的移动，将探针尖端精确定位至半导体器件的Pad或晶圆测试点，通过压板下降建立电气连接。

二、真空吸附固定式

1.‌样品固定与探针配合‌

样品通过真空卡盘吸附固定，确保测试过程中无位移；探针通过独立模块化设计（如磁吸式底座）灵活调整位置，适配不同形状/尺寸的样品。

‌典型应用‌：大电流测试中，样品需清洁后置于真空卡盘，开启真空阀确保吸附稳定，再通过探针座微调接触压力。

 

三、自动化控制接触式

1.‌计算机或程序驱动‌

射频探针台通过计算机控制探针运动，结合同轴电缆连接测试设备，实现晶圆级射频参数的自动化测量。

‌高效场景‌：批量测试时，完成一个器件后升起压板，移动载物台至下一器件重复定位流程。

四、分步微调验证接触

1.‌接触状态确认‌

探针尖端接近样品后，通过X轴左右滑动观察表面划痕或测试设备反馈信号，验证是否建立有效接触。

‌安全操作‌：需缓慢操作，避免探针压力过大损坏样品或针尖钝化78。

五、特殊模式扩展

1.‌多模式兼容设计‌

部分探针台支持切换真空/气氛环境测试，通过模块化设计快速拆卸探针底座，扩展样品腔空间或切换功能。

总之：探针与样品的接触核心在于‌精准定位‌与‌稳定控制‌，需结合设备类型（手动/自动）、样品特性（尺寸/材质）及测试需求（电流/射频）选择适配方法。操作中需遵循分步微调、压力验证等规范，以保障测试精度与设备寿命。