手动、半自动、全自动探针台的区别有哪些

手动探针台、半自动探针台和全自动探针台是三种不同类型的探针台，它们在使用类型、功能、操作方式和价格等方面都有所不同。

手动探针台是一种手动控制的探针台，通常用于没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下。该类探针台的优点是灵活、可变性高，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。手动探针台系统只需要少量的培训，因此非常适合研发人员使用。

半自动探针台是一种半自动控制的探针台，可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。与手动探针台相比，半自动探针台的操作相对简单，但需要使用者进行一些简单的操作，如移动晶圆载物台、调整显微镜焦距等。半自动探针台通常需要进行一些预设置，以便能够适应不同的测试环境。

全自动探针台是一种全自动控制的探针台，可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。相比于半自动探针台，全自动探针台具有更高的精度和效率，可以在短时间内完成大量的测试操作。全自动探针台通常还配备有晶圆材料处理搬运单元(MHU)、模式识别(自动对准)等功能，以确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。全自动探针台通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。

总的来说，手动探针台适合研发人员使用，半自动探针台适合初学者使用，而全自动探针台适合具有一定经验的测试人员使用。不同类型的探针台各有优缺点，选择何种探针台主要取决于测试的需求和个人的技能水平。