白光干涉仪在金刚石wafer三维形貌测量中的应用

wafer，其实指的就是晶圆，即制作硅半导体电路所用的硅晶片；金刚石wafer即以单晶金刚石C为材料制成的薄片。金刚石具有良好的物理、化学性质和优异的半导体电气性质，且具有高硬度、高热导率、高化学稳定性等优良特性，因此被誉为“终极半导体材料”。

一、金刚石wafer的发展前景

随着新能源汽车、高铁动车、物联网、5G技术、人工智能等技术的快速发展，对高效率、高性能的半导体器件和集成电路的需求不断增加，金刚石 wafer的研究和应用领域不断扩大。金刚石 wafer在半导体、光电子、生物医学等领域的应用前景广阔，有望成为未来高科技产业的重要支撑。

金刚石wafer行业发展被限制的主要原因是金刚石制成的wafer片尺寸过小，无法满足半导体使用需求，因此如何实现大尺寸金刚石wafer的生产制造成为半导体行业急需突破的难题。

二、金刚石wafer的应用范围

金刚石 wafer在半导体、光电子、生物医学等领域具有广泛的应用。此外，金刚石 wafer还可以应用于以下领域：

• 微波器件
• 高温/高功率/高频电子器件
• 光电子器件
• 生物传感器
• 光电器件
• 航空航天

......

三、金刚石wafer的检测需求

金刚石 wafer的检测需求主要包括表面粗糙度、平面度、缺陷检测、厚度尺寸等方面。为了确保产品的质量和性能，需要对其进行全面的检测和分析。

• 平面度/平整度

金刚石w