您是否还在烦恼接触式测量仪时常发生的探针损坏以及样品损伤?也许非接触式测量仪才能满足您的测量需求。
小优博士为您解惑!
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获取微观轮廓信息的测量方式分为“非接触式”和“接触式”两种,顾名思义这两种本质上的区别就是是否与被测物表面接触。
常见接触式测量仪包含探针式粗糙度仪、台阶仪、探针式轮廓仪,通过探针直接接触表面记录轮廓变化从而获取轮廓、高度、粗糙度等信息。
“接触式测量”应用极其广泛,但是也存在如下几个问题:

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面对半导体制造及封装工艺、光学镜片、微纳材料、医疗器械等新兴精密产品,白光干涉仪提供精确且快速的“非接触式”测量轮廓、高度、粗糙度解决方案:


图4-太阳能栅线高度轮廓及其高度(在线快速检测)
·AR系列 AR-7020拍摄



图5-掩模版(软质材料)台阶高度测量
· AM系列 EX-230 拍摄


图6-种植牙表面粗糙度测量(无损伤)
· AM系列 EX-230 拍摄

图7-玻璃表面喷砂形貌 精细表面纹路观察
· AM系列 EX230 拍摄
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文章介绍了接触式测量仪在精密测量中可能遇到的探针损坏和样品损伤问题,提出非接触式测量仪,如白光干涉仪,作为解决方案。这种技术在半导体、光学镜片、微纳材料和医疗器械等领域提供了精确且快速的测量方法,尤其适用于避免对脆弱或精密样品造成损伤的场合。
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