SECS I,II,HSMS总结:(一)SECSI 和SECSII的相互关系和转化

(一)SECSI 和SECSII的相互关系和转化

SECSI主要定义了硬件之间通讯的传输封包的格式，封包传输的Hand shake和sequence,主要面向物理层。

SECSII主要定义了host和equipment之间传输的信息结构

SECSI和SECSII是相互配合，缺一不可。以下是SEMI定义SECSI信息结构。如果一条message的大小超过245字节，则这条message要拆分成多块进行传送。以下是SECSI message的结构

 

一个典型的SECSII message

 

 

关于SECS I和SECS II中message组成结构，SECSCourse.pdf这个文档中有详细描述，这里不再重复。现举成都天马一个机台的SECS I和SECSII的Log例子来分析。

SECSI log:

SEND 00 00 82 29 00 00 00 00 00 0C

    01 02 41 01 31 01 03 01 02 41 06 50 54 49 44 20 20 41 03 43

    30 31 01 02 41 06 43 53 54 49 44 20 41 14 43 41 30 30 33 33

    20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 20 01 02 41 06 4C 4F

    54 49 44 20 41 14 41 31 50 39 39 41 31 5A 4E 41 34 30 30 31

    20 20 20 20 20 20

RECV 00 00 02 2A 00 00 00 00 00 0C

        01 02 41 01 31 41 01 30

 

1.      首先，发送方和接收方都是以16进制进行传输。发送方的第一行表示message header.第一和第二个字节由16进制表示为00.转化为二进制为0 0 0 0 0 0 0 0 。从中可以知道这是一个由Host发给EQP的message，Host和EQP的device ID 都为0.第三个字节为82，转化为2进制为1 0 0 0 0 0 1 0，从中可以知道这是一个需要EQP回复的message(需要回复的SECSII message中 Function ID 都为奇数),而且该SECSII message的stream ID 为2。第四个字节为29，转化为十进制值为41，由此可知道该message的Function ID 为41。有以上可以判断出这是一个由Host 发给机台的S2F41。第五个字节为00.说明这条message大小没有超过245字节，不用分成多块发送。

2.      发送方Header下面的部分是message body,里面包含了S2F41这个message中所有的详细信息（包括格式和值）。第一个字节01，转化为二进制为0 0 0 0 0 0 0 1，从前六位可以看出该message是的一层是一个List,第二个字节02，转化为二进制为

0 0 0 0 0 0 1 0说明该List下面有两个Item。第三个字节为41，转化为二进制

0 1 0 0 0 0 0 1由前六位知道第一个Item是ASCII类型。第四个字节为01转化为二进制0 0 0 0 0 0 0 1，说明这个Item的长度为1。第五个二进制为31，转化为十进制为49，49为字符’1’的ASCII码值，说明第一个item的值为1。……

3.      以此类推下去,从上面的SECSI 的message中可以推出SECSII的message,如下所示

SEND S2F41                           

  <L,2

         <A,1 '1'>

        <L,3

            <L,2

                <A,6 'PTID '>

                <A,3 'C01'>

            >

            <L,2

                   <A,6 'CSTID '>

                <A,20 'CA0033             '>

            >

            <L,2

                <A,6 'LOTID '>

                <A,20 'A1P99A1ZNA4001     '>

            >

         >

       >.

RECV S2F42

   <L,2

      <A,1 '1'>

      <A,1 '0'>

       >.

(二)SECS I中的几种time out

T1 time out是指receiver在等待接收message中下一个character最长时间，超过这个时间receiver就要向sender发送 T1 time out

 

 

 

T2  protocol time out是指在SECS I中发送方必须接到接收方回复消息的等待时间。比如，sender发送了一个ENQ，然后等待EOT的最长时间

T3 time out是指sender在等待receiver回复的第二个message的最长时间。类似于SECS II中的conversion  time out。

 

 

T4 time out是指对于多block的message，receiver等待下个block的最长时间。

(三)关于GEM

        GEM的英文全称是Generic model for communications and control of manufacturing equipment相当于SECS II的一个子集。由于实际机台并非要用到SECS II的全部message,所以只要根据机台来设计，就可以节省一定的开支。

四）关于HSMS

HSMS英文全称为High speed SECS Message Services.它定义了用TCP/IP协议进行进行信息交换的界面.它与SECSI的主要区别在于SECSI是通过串口通信协议(RS232)进行通信的,成都天马就是用的HSMS(关于HSMS message格式SECSCourse.pdf中也有详细描述).