大功率半导体器件静态测试专用系统

普赛斯推出的功率器件静态参数测试系统具备高电压3KV、大电流4KA的测试能力,适用于MOSFET、BJT、IGBT等功率器件的精准测量。系统提供uΩ级电阻、pA级电流的测量,支持多种测试模板和数据导出,采用模块化设计,可扩展温控功能,并能根据用户需求进行定制开发,广泛应用在科研、新能源等领域。

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功率器件静态参数测试系统集多种测量和分析功能一体,可精准测量功率器件(MOSFET、BJT、IGBT等)的静态参数,电压可高达3KV,电流可高达4KA。该系统可测量不同封装类型的功率器件的静态参数,具有高电压和大电流特性,uΩ级电阻,pA级电流精准测量等特点。支持高压模式下测量功率器件结电容,如输入电容,输出电容、反向传输电容等。

普赛斯以自主研发为导向,深耕半导体测试领域,在I-V测试上积累了丰富的经验,先后推出了直流源表,脉冲源表、高电流脉冲源表、高电压源测单元等测试设备,广泛应用于高校研究所、实验室,新能源,光伏,风电,轨交,变频器等场景。

大功率半导体器件静态测试专用系统特点

  • 高电压:支持高达3KV高电压测试;

  • 大电流:支持高达4KA大电流测试;

  • 高精度:支持uΩ级电阻、pA级电流、uV级精准测量;

  • 丰富模板:内置丰富的测试模板,方便用户快速配置测试参数;

  • 配置导出:支持一键导出参数配置及一键启动测试功能;

  • 数据预览及导出:支持图形界面以及表格展示测试结果,亦可一键导出;

  • 模块化设计:内部采用模块化结构设计,可自由配置,方便维护;

  • 可拓展:支持拓展温控功能,方便监控系统运行温度;

  • 可定制开发:可根据用户测试场景定制化开发;

    技术指标

产品应用

功率器件如二极管、三极管、MOS管、IGBT、SIC、GaN;

 

<think>好的,我现在需要处理用户关于MOS功率器件性能测试方法或工具的询问。首先,我要回顾用户提供的引用内容,看看有没有相关的信息可以直接应用。 引用[1]提到电性能测试方案,适合高校科研工作者和工程师,使用高精度数字源表、电缆辅件和测试夹具。这可能涉及到静态参数测试的工具,比如源测量单元(SMU)。 引用[2]讨论了MOSFET的开关速度对电路性能的影响,特别是开关速度如何影响效率和EMI。这里可能需要动态测试方法,比如双脉冲测试和开关特性分析仪。 引用[3]强调MOS管代换时输入电容的重要性,这提示在测试中需要关注输入电容、输出电容等参数,可能涉及LCR表或阻抗分析仪。 用户之前的问题是关于MOS功率器件的性能测试,现在需要详细的方法和工具。我需要组织这些信息,分静态和动态测试,并列举相应的测试项目和工具。 静态参数包括Vgs(th)、Rds(on)、跨导等,工具方面可能需要数字源表、半导体分析仪。动态参数如开关时间、栅极电荷,工具可能用双脉冲测试电路、示波器、电流探头等。还有热性能测试,比如热阻,需要热成像仪或热电偶。 另外,引用[1]提到测试夹具和电缆辅件,这部分在测试系统中也很重要,需要提及。还要注意测试中的注意事项,比如匹配问题,如引用[3]中的输入电容影响,需在测试时考虑驱动电路的匹配。 最后,生成相关问题,可能涉及测试中的挑战、优化方法、不同应用的测试重点等。确保回答结构清晰,分点说明,引用正确的地方添加标识。</think>### MOS功率器件性能测试方法及工具 #### 一、静态参数测试 1. **阈值电压($V_{GS(th)}$)** - **方法**:逐步增加栅源电压($V_{GS}$),当漏极电流达到特定值(如$1\,\mathrm{mA}$)时对应的电压即为阈值电压[^3]。 - **工具**:高精度数字源表(如Keysight B2900系列)或半导体参数分析仪[^1]。 2. **导通电阻($R_{DS(on)}$)** - **方法**:在额定栅极电压下,施加小电流(如$1\,\mathrm{A}$)测量漏源电压,通过欧姆定律计算电阻。 - **工具**:大电流源测量单元(SMU)配合低感测试夹具[^1]。 3. **跨导($g_m$)** - **方法**:固定漏源电压($V_{DS}$),扫描栅源电压($V_{GS}$)并记录漏极电流($I_D$),计算$\Delta I_D / \Delta V_{GS}$。 #### 二、动态参数测试 1. **开关时间($t_d, t_r, t_f$)** - **方法**:通过双脉冲测试电路(DPT)触发MOS管开关,使用示波器捕获栅极电压($V_{GS}$)和漏极电流($I_D$)波形。 - **工具**:高压探头(如泰克THDP系列)、电流传感器(如Pearson 110A)及高速示波器[^2]。 2. **栅极电荷($Q_g$)** - **方法**:对栅极电容充放电,积分电流-时间曲线计算总电荷量。 - **工具**:专用栅极电荷测试仪(如Keysight N6781A)或SMU配合定制电路。 3. **输入/输出电容($C_{iss}, C_{oss}$)** - **方法**:利用LCR表在特定频率(如$1\,\mathrm{MHz}$)下测量电容值。 - **工具**:阻抗分析仪(如Keysight E4990A)。 #### 三、热性能测试 1. **热阻($R_{θJC}$)** - **方法**:通过加热器施加功率,测量结温与环境温度差值,计算$R_{θJC} = \Delta T / P$。 - **工具**:红外热成像仪(如FLIR A700)或热电偶测温系统。 2. **安全工作区(SOA)** - **方法**:在多个电压-电流组合下测试器件耐受能力,绘制安全边界曲线。 - **工具**:功率曲线追踪仪(如Tektronix 371B)。 #### 四、典型测试系统组成 - **核心设备**:高精度数字源表(如普赛斯CP系列) - **辅助工具**:低电感夹具、同轴电缆、散热基板 - **软件**:LabVIEW或Python自动化测试平台 #### 注意事项 1. **动态测试匹配**:需根据输入电容($C_{iss}$)设计驱动电路阻抗,避免开关震荡[^3]。 2. **热耦合**:测试时需确保器件与散热器紧密接触,减少接触热阻误差。 3. **高频干扰**:动态测试中需使用屏蔽电缆和接地环路抑制技术[^2]。 --- ###
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