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weixin_43574730的博客

原创天线效应antenna effect

一般来说，天线比越小，天线效应越小。（在芯片制造的过程中，由于温度和环境光子等因素，反向antenna diode 等效于一个电阻，diode面积越大，电阻越小，能泄放的电流越大，对gate 保护效果越好）在芯片制造的过程中，连接Gate的metal层相当于一个天线，它会收集一些工序中产生的电荷，例如反应离子刻蚀或者等离子体相关的工序。天线效应会对gate oxide造成不可逆转的损伤，导致芯片的可靠性降低，例如TDDB问题。① 向上跳层，将面积违例的金属层分成多段，以达到减小"天线"面积的目的。

2023-04-03 16:12:07 1312 1