光刻胶在芯片制造中的作用_热仿真在芯片研发中的作用及热阻讲解—为什么任正非说芯片热分析是尖端技术?...

半导体芯片在各行各业中起着至关重要的作用。随着封装集成度的提高,热管理成为挑战。任正非强调热分析的重要性,ANSYS Icepak作为热仿真工具,帮助工程师解决芯片封装的热流问题,计算不同工况下的热阻,提升芯片的热可靠性。

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随着现代社会的智能化发展,在人类生活的各个角落,无论是汽车电子还是人工智能,再或是AR、VR,以及其他新科技应用领域,半导体芯片都是智能化控制的最基础、最核心的部分。高度集成的封装及电路控制可以帮助人类完成各种各样的工作。

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高度集成化的芯片封装

为满足智能化、微型化的需求,芯片被最大程度地封装集成,多个芯片(chip)或并列封装于一个Package中,形成SIP(System In a Package)系统级封装,或进行Stacked堆叠封装,形成堆栈裸片封装。

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SIP系统级封装

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Stacked Die堆栈封装示意图

众所周知,当电流流经导体时,必然会生成焦耳热,热量的不平均势必引起导体的热变形等不良现象,那么对于高度集成的芯片封装,在其工作时,芯片内部的热耗势必急剧增大,进而导致芯片内部温度升高,因此在芯片封装的研发过程中,芯片封装的过热问题必须得到良好的控制。

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焦耳热引起的导体温升及热变形

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某芯片内部的电流云图、某芯片的温度云图分布

正如华为总裁任正非2018年接受记者采访时讲到“我们把芯片叠起来,但最大的问题是要把两个芯片中间的热量散出来,这也是尖端技术,所以说,热学将是电子工业中最尖端的科学,这方面我们的研究也是领先的,就是太抽象了”,那么在芯片封装的研发过程中,工程师可以使用ANSYS Icepak对芯片封装内部的热流场进行CAE仿真计算,也可以和ANSYS其他模块一起,进行芯片封装的多物理场耦合模拟计算,以便调控热流传递路径,更好地降低芯片Die的温度,提高其热可靠性。下图为某芯片内部的热流密度及温度云图,可以看出,芯片内部的温度极其不均匀。

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ANSYS Icepak作为一款优异的电子热仿真软件,可以对芯片封装的各个尺度进行热流仿真计算,小到芯片内部0.25μm的沟道,大到cm厘米级别的封装、芯片,都可以对其进行有效精确的热流仿真计算。当前,在芯片封装的CAE热流计算中,主要是计算了芯片封装放置于JEDEC(美国联合电子设备工程协会)标准机箱内自然冷却、强迫对流情况下的热阻数值。芯片封装内的铜箔布线和过孔,是芯片热流最重要的传热路径,因此在对芯片进行详细的热流计算时,务必导入其布线过孔信息,以提高热仿真计算的精度。

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封装的布线分布及精确的导热率云图

芯片封装热流计算常见的几种热阻分类如下:

芯片封装的Rja热阻,表示芯片的结点Junction与外界空气的热阻,单位为℃/W,一般由芯片制造商提供。Rja热阻数值的大小,通常被用来判断芯片散热性能的好坏。下图表示某个芯片的Rja热阻数值(包括自然冷却和强迫风冷)。

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某芯片封装的Rja数值

Rja热阻通常包括两种,一种为将芯片放置于JEDEC标准的密闭测试机箱中,芯片通过自然冷却进行散热,即外侧风速为0,计算芯片封装的Rja;另一种为将芯片放置于JEDEC标准的风洞中,通过外界的强迫风冷对芯片进行散热,需要计算不同风速下的芯片Rja热阻,其中风洞垂直距离h应该大于测试电路板流向长度L的2倍,即h>2L。

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封装Rja热阻(自然冷却)模型示意图

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封装Rja热阻(强迫风冷)模型示意图

芯片Rja热阻的计算公式如下所示:

Rja=(Tj-Ta)/P

Rja表示芯片结点Junction至环境空气的热阻,℃/W;

Tj表示芯片Die的最高温度,℃;

Ta表示环境的空气温度,℃;

P表示芯片Die的热耗,W;Tj、Ta测量点示意图如下图所示。

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Tj、Ta测量点示意图

进行Rja计算时,芯片务必放置于电路板上,当芯片封装的尺寸小于27mm时,测试电路板的尺寸如下左图所示;当芯片封装尺寸大于等于27mm时,测试电路板的尺寸如下右图所示。

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芯片尺寸小于27mm 、芯片尺寸大于等于27mm

芯片封装的Rjc热阻,表示芯片封装的结点Die至芯片管壳Case顶部的热阻。将芯片封装放置于四周绝热的环境中,芯片封装仅仅通过管壳的顶部与外接环境进行换热,恒定的换热系数为25w/k.m2。Rjc测试的示意图如下图所示。

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Rjc热阻测试示意图

Rjc的计算公式为:

Rjc=(Tj-T_c)/P

Tj表示芯片Die的最高温度,℃;

Tc表示芯片管壳Case的最高温度,℃;

P表示芯片Die的热耗,W。

芯片封装的Rjb热阻,表示芯片封装的结点Die至电路板Board的热阻,其真实的测试示意图下图所示。芯片封装放置于Pcb电路板上,电路板长、宽方向的尺寸均大于芯片封装5mm,将芯片和电路板放置于密闭的空间内,电路板四周的面处于恒定的温度,芯片封装的热量只能通过电路板传导至电路板四周恒温的壁面。

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Rjb热阻测试示意图

芯片封装Rjb的计算公式为:

Rjb=(Tj-T_b)/P

Tj表示芯片Die的最高温度,℃;

Tb表示电路板board的温度,℃;

P表示芯片Die的热耗,W。

因此,使用ANSYS Icepak可以精确地计算芯片封装内部的热流分布,计算不同工况下的热阻数值,方便工程师洞悉芯片内部的热流路径,以进一步改善芯片的热流环境,提高其热可靠性。

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