5.1 主要性能参数

分子泵的性能参数体系构成了评估其技术水平的完整框架，这些参数不仅相互关联，而且共同决定了分子泵在实际应用中的适用性和效率。深入理解这些参数的内在物理意义和相互关系，对于正确选择、使用和优化分子泵至关重要。

5.1.1 极限压力

极限压力是衡量分子泵抽气能力的终极指标，定义为在标准测试条件下，分子泵所能达到的最低压力。这一参数不仅反映了泵本身的抽气性能，也体现了其克服各种气源的能力。

理论极限的物理基础

从分子动力学角度，极限压力的理论值可以由气体分子与泵内表面的动态平衡决定。考虑一个简化的模型，极限压力 PultP_{ult}P