矢量网络分析仪VNA的校准之SOLT方法

作者：杭州冥鸿电子科技有限公司
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S参数的测量方法有两种，一种是基于扫频测量的原理（VNA）,另外一种是基于快沿阶跃响应的原理（TDR）。

    下图是VNA的原理框图，主要包括以下部分: 

（1）激励信号源：提供感兴趣的频率范围内的入射信号；

（2）信号分离装置：含功分器和定向耦合器，分离出入射，反射和传输信号；

（3）接收机：对被测件的入射，反射和传输信号进行测试；

（4）处理显示单元：对测试结果进行处理和显示。

    正确的校准是使用 VNA 的一个难点。VNA测量出来的S参数是否有错误并不能通过VNA直接能检查出来，只有导入仿真软件仿真出结果发现有问题时可能会怀疑是S参数测量有问题,再返回来检查VNA校准VNA测量时的操作有没有错误。

1、网络分析仪中的系统误差

    由于被测件的多样性，使得矢量网络分析仪校准种类繁多，操作者容易出现误区。有时候校准出来的结果看很“漂亮”，但其实是错误值。下面将列举常见的误区。

    下图总结了典型网络分析仪中的系统误差来源。

    相位测量功能使得VNA能够精确地计算所有的误差来源。方向误差会影响反射测量的精度。隔离误差会影响发射测量的精度。源和负载误差与被测件和分析仪测量端口阻抗之间的失配有关。反射和发射跟踪误差与分析仪的参考接收机和测量接收机的频率响应差异有关。

（1）ED，与信号泄露相关的方向性误差；

（2）ES，与反射相关的源失配误差；

（3）EL，与反射相关的负载失配误差；

（4）ERT/ER，由测试接收机内部的反射跟踪引起的频率响应误差；

（5）ETT/ET，由测试接收机内部的传输跟踪引起的频率响应误差；

（6）EX，与信号泄露相关的串扰误差；<