长三角半导体产业参观日记

这一周以来，走访了长三角地区的三家半导体公司，印象颇深。
分别是无锡华润上华（CSMC）、常州晶品光电（Epistar）、上海台积电（TSMC）。
无锡华润上华属于华润集团，拳头产品是以trench MOS为代表的功率器件IC以及CDMOS工艺。
CDMOS为complementary and double-diffusion MOS，是将LDMOS功率器件与传统CMOS器件集成在同一硅片上的技术。
我们进入了防护等级为1000级的无尘室，穿上了防护服，经过了空气淋浴，亲眼见到了湿法刻蚀区、离子注入区、用于光刻的黄光区、薄膜生长区等，学习到了集成电路制造过程。
晶品光电利用GaN（三五族半导体）生产蓝绿光LED，首先是在蓝宝石（Al2O3）衬底上外延GaN，接着就和集成电路工艺兼容了。蓝宝石是无色的耶，这让我印象挺深的，后来查了一下，蓝色来自于杂质Ti和Fe。发光原理嘛，自然就是PN结的粒子数反转喽，那边提到了MQW（量子阱）以后得查查！
上海台积电在松江，因为台积电对外保密程度高，我们进不去无尘室，不过台积电员工福利不错这是确实的，哈哈！