光刻胶
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诸葛务农
闯荡江湖数年,反不如初。闲来有事,寂寂清谈。
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光刻胶用聚酰亚胺(PSPI)
聚酰亚胺光刻胶是一种高性能特种光刻胶,主要应用于半导体封装、MEMS和先进封装领域。其核心原料包括二酐单体、二胺单体和光敏单体,通过两步法合成工艺制备。该材料具有高感光度、低固化收缩率、优异机械性能和热稳定性(Tg>300℃)等特点。生产过程中需严格控制反应温度(<5℃)、单体比例等参数,并通过FTIR、GPC等设备进行质量检测。聚酰亚胺光刻胶将高分子合成与微电子工艺相结合,为先进封装提供了可靠的图形化解决方案。原创 2025-11-24 22:11:24 · 548 阅读 · 0 评论 -
负性光刻胶用聚乙烯醇肉桂酸酯
聚乙烯醇肉桂酸酯(PVCi)作为首个商用负性光刻胶,通过Schotten-Baumann酯化反应合成,需高纯度PVA和肉桂酰氯在吡啶催化下反应。关键工艺包括低温滴加、惰性气体保护和严格质量控制,取代度需达80%以上。PVCi具有高感光度、分辨率和抗蚀刻性,适用于微米级图形加工。虽然被化学放大胶取代,但在分立器件等领域仍有应用价值,其合成工艺体现了光刻胶技术的化学与工程融合。生产需专用设备如避光反应釜和精密检测仪器。原创 2025-11-24 22:08:17 · 394 阅读 · 0 评论 -
光刻胶用酚醛树脂生产工艺流程及其影响因素和控制措施
本文系统研究了酚醛树脂合成工艺的关键控制要素。重点分析了高邻位树脂合成的工艺参数条件,包括原料预处理(游离酚控制、甲醛稳定性)、反应釜配置(搪瓷反应釜+锚式搅拌)、投料比(醛酚摩尔比0.65-0.70)和催化剂用量(1.2-1.5%)。深入探讨了原料配比、加料方式、反应设备设计(搅拌桨形式、转速)对分子量分布、金属杂质残留的影响。提出了温度-加料协同控制策略(75℃构建高邻位结构,95℃深度缩聚)及异常处理方案(凝胶化防控)。通过工艺优化可实现PDI<1.5、M_w稳定性±500Da,满足光刻胶用树脂的严苛原创 2025-11-10 09:55:33 · 1221 阅读 · 0 评论 -
光刻胶用酚醛树脂:合成方法、系统改性、分离提纯、催化技术及分子量的精准控制(续)
本文系统综述了酚醛树脂合成中的分离提纯与催化技术进展。分离提纯方面,溶剂分级法(PDI<1.5)、超临界CO₂萃取(游离酚<0.05%)、膜分离等新技术显著提升了树脂纯度;催化技术方面,固载分子筛催化剂(Zn²⁺<50ppb)、微波-脉冲磁场协同工艺(反应时间缩短2/3)等创新实现了绿色高效合成。当前技术正向智能化、精准化发展,但面临成本控制与规模化挑战,未来将聚焦生物基溶剂、AI动态调控等方向,以满足电子级树脂和新能源材料的高端需求。原创 2025-11-09 09:55:03 · 1087 阅读 · 0 评论 -
光刻胶用酚醛树脂:合成方法、系统改性、分离提纯、催化技术及分子量的精准控制
本文系统研究了光刻胶用酚醛树脂的合成与改性技术。首先介绍了传统酸催化缩聚、高邻位树脂合成等制备方法及其工艺控制参数,重点分析了分子量精准控制技术。其次详细阐述了化学结构、分子设计、复合改性等系统改性技术,包括NAPR树脂合成和t-BOC保护基修饰,并评估了改性树脂在lift-off工艺等应用中的性能表现。最后指出当前改性技术面临的性能平衡、工艺复杂度等挑战,提出未来发展方向应注重分子设计精准化、工艺绿色化和杂化材料创新。全文为光刻胶用酚醛树脂的性能优化和产业化提供了系统的技术参考。原创 2025-11-09 09:53:23 · 1000 阅读 · 0 评论 -
光刻胶用酚醛树脂
光刻胶用酚醛树脂改性技术进展显著,关注分子结构优化、性能平衡与国产化替代。通过硅/氟基团修饰、天然酚替代及功能化侧链保护(如t-BOC),提升耐热性(>300℃)、分辨率(0.6μm)与环保性。国产化在中端光刻胶(I线/G线)取得突破,圣泉、彤程等实现量产;KrF/ArF树脂逐步验证,但EUV领域仍依赖进口。面临分子量分布控制(PDI<1.5)、痕量杂质(<50ppb)等技术瓶颈,未来需聚焦生物基单体、AI分子设计及杂化材料开发,以匹配3nm以下制程需求。原创 2025-11-09 09:51:11 · 725 阅读 · 0 评论 -
光刻胶丙烯酸酯类树脂的合成:工艺技术路线、影响因素、控制条件和控制参数(续)
摘要:本文系统研究了原料配比、浓度、加料工艺、温度压力、pH值及反应气氛等因素对光刻胶用丙烯酸树脂合成的影响。通过优化单体配比(如MMA:AdA:BA=60:30:10)、梯度升浓法(25%→40%固含量)和微反应器连续合成等工艺,可有效控制分子量分布(PDI<1.2)和金属杂质(<0.1ppb)。采用阶梯控温(65-68℃)、缓冲体系(pH=5.0/6.5)及氮气保护(O₂<5ppm)等措施,显著提升产品性能。研究表明,通过多参数协同优化可实现转化率>99.5%、批次差异<2原创 2025-11-08 20:52:19 · 752 阅读 · 0 评论 -
光刻胶丙烯酸酯类树脂的合成:工艺技术路线、影响因素、控制条件和控制参数
摘要:本文系统研究了三种丙烯酸树脂合成工艺(自由基法、酯化法、聚氨酯丙烯酸酯改性法)的制备工艺、核心控制参数及优化策略。详细阐述了反应釜设计、搅拌桨配置、原料配比、温度压力控制等关键因素对树脂性能的影响,并提出了在线监测、AI动态调控等先进质控技术。重点分析了各工艺的工业化应用参数、副反应控制方法及紧急处理方案,特别针对光刻胶用树脂的高纯度要求(金属杂质<5ppb)进行了工艺优化。研究显示,通过微反应器技术可使PDI降至1.2以下,组合桨叶设计将金属杂质沉降减少50%,为半导体级丙烯酸树脂的工业化生产原创 2025-11-08 20:49:26 · 1113 阅读 · 0 评论 -
光刻胶脂合成技术前沿:光引发剂锚定(续)
单原子催化(SACs):Pt/CeO₂纳米立方体降解PAG残留,光酸效率提升30%。生物启发催化:仿生酶催化剂(如血红素模拟物)用于室温自由基聚合,能耗降60%。AI驱动的催化设计:深度学习预测催化剂构效关系,加速新型PAG开发(如碘鎓盐衍生物)原创 2025-11-07 09:51:25 · 990 阅读 · 0 评论 -
光刻胶丙烯酸酯类树脂——性能指标和合成方法
光刻胶丙烯酸酯类树脂是化学放大型光刻胶的关键组分,其性能直接影响分辨率、灵敏度等核心指标。本文系统分析了该类树脂在光化学性能、物理机械性能等方面的严苛要求,包括酸催化反应性、溶解对比度、抗蚀刻性等关键技术参数。详细比较了自由基聚合、酯化反应、聚氨酯改性等合成方法的优缺点,并介绍了光引发剂锚定、纳米复合等前沿改性技术。研究表明,酯化反应法和聚氨酯改性法仍是工业化主流,而新型树脂体系开发需突破"蚀刻耐受性-低粗糙度"等性能平衡难题,为3nm以下制程提供材料基础。原创 2025-11-06 11:13:20 · 744 阅读 · 0 评论
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