300mm晶圆是目前IC制造的主流,国际半导体装备和材料协会(SEMI)及全球半导体制造厂、设备供应商共同起草并制定了一系列300mm相关的自动化软件通信标准,规定了生产管理系统(MES/CIM)与IC装备之间的通信协议。
目前,与通信相关的SEMI软件标准有如下3类:
- SECS/GEM标准:传统的主机设备通信标准,定义了通信的物理层(RS232, TCP/IP)、消息格式以及设备通信场景。
- 300mm相关标准:以SECS/GEM标准为基础,针对300mm晶圆加工过程中的特殊需求,定义了加工过程管理、批量物料的作业管理、物料跟踪、载体管理、载体并行I/O接口等。
- Interface A标准:Interface A通信方法工具软件是设备系统的一部分,由Interface A接口、服务和数据类型,以及设备模型工具和设备控制系统组成。
近几年做的几个项目都涉及到了SECS/GEM通讯,随着项目逐个的完成SECS/GEM的功能也日渐完善,并最终经过整理形成了一套开发库,取名为“RapidSecs”,想将开发过程中的一些心得体会写成一系列的博文供广大博友参考。
RapidSecs开发库一共分为2部分:
序号 |
项目 |
支持标准 |