微泡基础知识及其在半导体清洗中的应用

介绍

小气泡显示出与普通气泡不同的行为。普通气泡在水中急速浮起,在表面破裂消失。但是,如果成为直径小于50μm的气泡,则会慢慢浮起并缩小,最终在水中消失。在水中变小消失(或者看起来消失)的气泡在这里被称为微气泡。微气泡在水中急剧缩小的原因是,由于它是小气泡,内部的气体有效地溶解在周围的水中。气泡的这种缩小意味着“气液界面”的变化,具有重要的工程学意义,即气泡内部压力的上升和表面电荷的浓缩,以及对发挥作用的固体表面的洗涤效果的表现。

臭氧微泡清洗半导体晶片

半导体是支撑现代社会最重要的电子零部件。在该制造中使用了被称为光刻机的技术,在该制造中清洗是非常重要的工序之一。一直以来,半导体晶圆的清洗中使用了强力的药液。其中,在光刻胶(感光性有机物)的去除中使用了硫酸过水(SPM:硫酸+过氧化氢/150℃)。该药液虽然发挥了强力的清洗力,但由于存在废液处理和安全上的问题,因此在接近室温的条件下以“水”为基础进行清洗被认为是梦想中的技术。因此,我们一直在推进利用微气泡的半导体晶圆清洗技术的开发。

微泡的特征

为了明确显示微气泡的特征,我们对两个模型进行了比较。也就是说,漂浮在空中的“水滴”和漂浮在水中的“气泡”。这两者虽然看起来相似,但一个是被空气包围的水的块,另一个是被水包围的空气的块。虽然都是具有气液界面的存在,但是想着眼于“动态的变化”这一点,对两者进行比较。下小水滴和小气泡,都是被水和气体的边界(气液界面)包围的存在,表面张力作用于这些气液界面。这个表面张力,从宏观的角度来看,是使其表面变小的作用力。可以预测细微的水滴和气泡保持着接近真球的形状。当这个界面带有缩小的作用力时,结果被界面包围的对象被“加压”。这个内压的上升,用杨氏拉普拉斯的公式来表示。

微小个体的特征是表面积相对于体积变大,即比表面积的增加,这对个体的寿命有很大的影响,即液滴通过蒸发而消失,气泡通过溶解而消失。在此,环境具有重要的意义,与平衡条件的差异成为现象中的主要驱动力。在此,两者之间产生了决定性的差异。也就是说,水滴受到周围状况的强烈影响,而气泡通过自身的力量创造出有利于溶解的环境。

微泡带电

当考虑微泡的效果时,内部压力的增加是一个

本系统旨在构建一套面向高等院校的综合性教务管理平台,涵盖学生、教师及教务处三个核心角色的业务需求。系统设计着重于实现教学流程的规范化与数据处理的自动化,以提升日常教学管理工作的效率与准确性。 在面向学生的功能模块中,系统提供了课程选修服务,学生可依据培养方案选择相应课程,并生成个人专属的课表。成绩查询功能支持学生查阅个人各科目成绩,同时系统可自动计算并展示该课程的全班最高分、平均分、最低分以及学生在班级内的成绩排名。 教师端功能主要围绕课程与成绩管理展开。教师可发起课程设置申请,提交包括课程编码、课程名称、学分学时、课程概述在内的新课程信息,亦可对已开设课程的信息进行更新或撤销。在课程管理方面,教师具备录入所授课程期末考试成绩的权限,并可导出选修该课程的学生名单。 教务处作为管理中枢,拥有课程审批与教学统筹两大核心职能。课程设置审批模块负责处理教师提交的课程申请,管理员可根据教学计划与资源情况进行审核批复。教学安排模块则负责全局管控,包括管理所有学生的选课最终结果、生成包含学号、姓名、课程及成绩的正式成绩单,并能基于选课与成绩数据,统计各门课程的实际选课人数、最高分、最低分、平均分以及成绩合格的学生数量。 资源来源于网络分享,仅用于学习交流使用,请勿用于商业,如有侵权请联系我删除!
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