1.deep level transient spectroscopy (DLTS)
根据网上的信息,深能级瞬态光谱(DLTS)是一种用于研究半导体中电活性缺陷(又称为载流子陷阱)的实验工具¹。DLTS可以确定缺陷的基本参数并测量它们在材料中的浓度⁴。一些参数被认为是缺陷的“指纹”,用于它们的识别和分析¹。
(1) Deep-level transient spectroscopy - Wikipedia. https://en.wikipedia.org/wiki/Deep-level_transient_spectroscopy.
(2) Deep Level Transient Spectroscopy: A Powerful Experimental Technique .... https://www.intechopen.com/chapters/47975.
(3) 深能级瞬态光谱检测(DLTS) | 瑞士苏黎世仪器. https://www.zhinst.cn/cn/applications/impedance-measurements/deep-level-transient-spectroscopy-dlts.
(4) Deep Level Transient Spectroscopy - an overview - ScienceDirect. https://www.sciencedirect.com/topics/chemistry/deep-level-transient-spectroscopy.
(5) Brief introduction to Deep Level Transient Spectroscopy. https://www.researchgate.net/publication/334327310_Brief_introduction_to_Deep_Level_Transient_Spectroscopy.
(6) 深能级瞬态谱仪 - Zhejiang University. http://silab.zju.edu.cn/2013/0530/c15286a715762/page.htm.

本文介绍了深能级瞬态光谱(DLTS),它是研究半导体中电活性缺陷的实验工具,可确定缺陷参数和浓度。阐述了其原理是利用电容瞬变检测载流子发射过程,应用于检测半导体材料和器件缺陷等。还介绍了实验设备和步骤,此外提及LGAD和SRH相关知识。
最低0.47元/天 解锁文章
1581

被折叠的 条评论
为什么被折叠?



