码农的历程

什么是GEM 控制状态?GEM板的控制状态是E30 GEM的基本要求之一。它定义了主机和设备之间的协作级别，并指定了操作员如何在不同级别的主机控制状态下进行交互。在半导体工厂中，主机或操作员可以控制设备的加工。双方同时控制设备会带来问题。所以当一方控制设备时，另一方所能进行的操作将受到限制。例如，如果操作员暂停了工艺处理，则不应允许主机发送恢复处理或启动新作业的命令。GEM控制状态就是为了防止此类问题的发生而被建立的。控制状态如何工作?控制状态提供三个基本级别的控制。每个级别都描述了主机

1977年，经典电影《第三类接触》上映。在电影的最后，有一段外星人和人类之间的戏剧性的 “对话”。其中一位科学家说:“我希望有人把这一切都记下来。”他们真正想要的是消息日志!就像软件日志对于应用程序的故障诊断很重要一样，记录工厂主机和生产设备之间的详细消息交互对于故障诊断也很重要。例如，主机发送一个命令，设备根据消息进行操作，但是有些事情并没有如预期的那样工作。将发送给设备的消息和设备的回复的消息与来自设备的其他日志一起查看，非常有助于确定问题位于在哪儿。用于显示/表示已记录消息的格式也非常

协议层的用途协议层封装数据，并在工厂主机和设备GEM接口之间可靠地传输数据。协议层定义协议层实现了通过工厂主机和设备GEM接口之间的连线发送消息所用到的传输技术和数据打包算法，。SEMIE5标准，半导体设备通信标准II消息内容(SECSII),定义了用作数据的SECS消息，以及如何将它们打包到二进制缓冲区中进行传输。SEMI E37和E37.1标准高速SECS消息服务(HSMS)定义了一种协议，用于在TCP/IP连接上交换SECS消息。这是SECS/GEM中使用最多的传输技术。...

假脱机消息的目的即使是最健壮的计算机网络也会经历通信失败。不管原因是什么，一个小故障都可能导致大量的关键任务数据丢失。GEM通过提供消息假脱机功能来调停数据的丢失假脱机的定义假脱机是这样一种功能，设备可以在通信失败时对发送给主机的消息进行排队缓存，然后在通信恢复时发送这些消息。假脱机的好处自动化工厂是数据驱动的。对数据进行提取和分析，以做出影响工程和管理团队如何应对的决策，以确保产品产量高而废品率低。这些数据的缺失可能导致错误的判断甚至猜测。假脱机是一种备份系统，它可以确保存储...

用户界面我记得作为一个新的童子军，我们计划去我家附近的一个原始山区远足。我们从地图上学到的第一件事就是在哪里可以找到图例。地图图例包含了阅读地图所需的重要信息，比如指出哪个方向是北。既然我们知道在哪里可以找到图例，我们就可以确定地图的方向，这样在我们计划徒步旅行时就能找到它了。在典型的半导体或电子装配工厂中，大多数设备都有一个用户界面，其中包含许多关于设备的信息。大多数设备还包含许多用于控制或操作设备的屏幕。利用GEM，一个工厂主机系统可以对设备进行控制，以及采集工艺过程中生成的重要数据。就

在本系列的几篇文章讨论了数据收集、事件、警报、配方管理和文档之后，本文重点讨论GEM标准的Twitter - 设备终端服务（Terminal Services）。我们将研究什么是终端服务（Terminal Services），为什么需要它们，以及它们的工作机制。什么是终端服务(Terminal Services)?设备终端服务允许工厂操作员从设备工作站与主机交换信息。主机可以在设备的显示设备上显示信息。它还允许设备的操作员向主机发送信息。设备必须能够显示主机传递给它的信息，供操作员注意。为什么需

正如SECS/GEM系列的特性和优点的第一篇文章所指出的，SECS/GEM标准定义了一个可以在任何设备上使用的标准化接口。GEM接口通过状态变量、数据变量、收集事件、警报、数据格式、错误代码、SECS-II消息和其他可选的GEM功能公开设备的功能。GEM标准要求每台设备都附带文档; 确保工厂拥有使用设备GEM接口所需的信息。该文档通常称为GEM手册。GEM手册可以以多种形式分发。目前，大多数GEM手册都是以Word、Excel或PDF文档的形式提供的。GEM手册中的大量信息被用于做出购买决策、开发主..

配方管理在几篇SECS/GEM系列博客文章(包括收集事件、数据轮询和警报)之后，我们现在讨论GEM特性的特性和优点，称为配方管理。我们将介绍配方的定义, 配方管理是什么意思，,以及为什么需要这个功能!什么是配方？配方是一组描述设备应如何处理其材料的指令。配方内容由设备供应商定义。什么是配方管理?配方管理允许工厂主机在设备之间传输配方。它还要求设备在设备上的配方发生变化时通知工厂主机。为什么需要这个特性?几乎所有的半导体工厂都需要这个特性来确保配方的完整性并支持可追溯性。主机将

报警以前的文章已经讨论了允许通过GEM接口收集数据的功能，以便在最近的文章中描述的工厂应用程序能够分析这些数据。在这篇文章中，我们将回到对SEMI E30 GEM(通用设备模型)标准的特定特性和功能的讨论，特别是对设备错误情况的管理。在一个完美的世界里，一切都按计划进行，但在现实中，事情总是会出错。成功的秘诀是能够知道什么时候出了问题，然后做出适当的反应。就像家庭报警系统一样，半导体晶圆厂也想知道什么时候发生了不好的事情。他们想防止正在加工的材料被报废。报警管理使设备能够在出错时通知主机，并提供

GEM 工厂应用支持工厂如何处理这些数据?与本系列中其他涉及SEMI E30 GEM(通用设备模型)标准的特定特性和功能的文章不同，本篇博客阐述了许多使用设备上收集到的数据的工厂应用程序。此外，由于我们经常听到这样的问题:“工厂实际如何使用哪些希望我们提供的各种类型的设备信息?”这篇文章将总结出支持这些应用程序所需的具体数据。这个列表并没有涵盖所有的内容，但是应该可以让您了解由GEM数据收集支持其目标的工厂受益者。下图说明了关键性能指标(kpi)、负责优化它们的受益者、用于实现此目的的应用程序以

数据轮询GEM是一种工业标准，它定义了工艺设备和工厂主机软件之间， 为了达到监视和控制目的所建立通信的标准方法。通过连接GEM设备，工厂可以立即体验到运营效益。工厂主机可以通过多种方式收集数据。之前的一篇博客文章讨论了使用收集事件报告收集数据，其中数据基于设备状态的变化被推送到主机。除了事件报告之外，工厂主机通常还需要轮询设备的当前数据值。数据值可以由主机直接请求，也可以在跟踪报告中定期采样。这就是所谓的数据轮询，也是今天讨论的主题。数据的类型GEM接口中有三种类型的数据:数据变量(DV

GEM 收集事件在开始我们的SECS/GEM系列之前，让我们先来解释GEM标准的一个关键特性，即Collection Events。我们将从解释它们如何工作开始，然后进一步说明为什么它们在从制造设备收集数据方面如此有效。什么是收集事件?“收集事件”名称中的两个单词是描述性的。如“事件”一词所示，收集事件是通知。它的目的是在设备上发生感兴趣的事情时通知主机。“主机”是指连接到设备GEM接口的工厂客户端软件。例如，收集事件可以在物料到达时报告，耗材不足时报告，出现硬件问题时报告，摄像机对物料进行

基本介绍SECS/GEM指的是一组用于管理制造设备和工厂主机系统之间通信的半导体行业标准。消息层标准SEMI E5 SECS-II定义了一个通用的消息结构和一个包含许多标准化消息的库。协议层标准SEMI E37高速消息服务(HSMS)定义了使用TCP/IP传输SECS-II消息的二进制结构。SEMI E30 GEM定义了一组最低要求、附加(可选)功能、用例和部分SECS-II消息的用户场景。SECS/GEM是在设备上实现的，工厂使用它来实现命令和控制功能。由于它是一个行业标准，任何符合SECS/GE

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SEMI自动化协议标准是由SEMI®（国际半导体产业协会）统一制定的，是行业内供应商和客户之间不断发展的技术协议集合，常用协议如下：设备端的主要应用主要应用场景半导体制造前道工序：主要通过E39, E40, E87, E90, E94, E116, E148以及E157来实现设备自动化 半导体制造后道工序：主要通过SEMI E122: Standard for Tester Specific Equipment Model (TSEM)、SEMI E123: Standard for.

以下是在开发SECS/GEM协议过程中，在网络上搜集协议实现资源，希望对SECS/GEM协议感兴趣的同学能有所帮助。开源代码freesecsFREESECS 是一个开源的SEMI SECS协议库，采用C++语言实现，可运行于Linux, MacOS X, NetBSD。实现协议：E37.1、E5开源地址：freesecs download | SourceForge.net下载地址：https://download.youkuaiyun.com/download/BT_LEO/24305429