al20093064的博客

原创 史上最强天线效应详解及解决方法

在芯片制造过程中，MOS管的栅氧化层上连接了一大片的导体，当进行离子刻蚀时，那个大片导体像一根天线一样，不断地收集电荷，使得导体上的电压越来越高，最终击穿MOS管的栅氧层，使MOS管失效，这就是天线效应（PAE，process antenna effect）。