自动对焦技术：TGV视觉检测方案中的关键

玻璃通孔（TGV）工艺在半导体封装中应用广泛，但在检测过程中面临诸多挑战，

主要体现在以下几点：

1、精度要求高

TGV技术的精度要求极高，通常是微米级。为了确保电气性能和信号传输的稳定性，任何微小的形变或尺寸偏差都可能导致封装失败，因此对检测精度的要求非常高。

2、材料和结构的复杂性

玻璃作为一种硬脆材料，具有较高的透明度，但其微观结构和裂纹等缺陷往往不容易直接观察。传统的检测方法，如X射线成像或光学显微镜，可能在检测玻璃材料时不够有效，特别是当玻璃厚度较大或通孔内存在微裂纹时，常规方法很难准确判断。

TGV是具有深度的通孔，品质检测需要关注Z轴方向（深度方向）的完整性，不仅是二维的表面缺陷。

3、多种缺陷的识别难度

在TGV封装中，可能出现的缺陷包括孔径不均匀、孔壁裂纹、玻璃表面缺陷等。检测系统需要具备高分辨率的成像能力，并能够准确识别这些微小缺陷。而由于玻璃的透明性和折射特性，缺陷的识别可能会受到光线和视角的影响。

4、高速检测的挑战：随着半导体封装向更高集成度发展，TGV技术的检测也需要适应更高的速度。高速的检测要求能够在短时间内完成对大量封装产品的检查，同时保持足够的精度，这对检测设备和算法提出了更高的要求。

针对玻璃通孔（TGV）工艺中的检测难点，志强视觉推出的TGV检测方案可有效解决上述难题，该方案将工业相机、高速自动对焦（AF）系统与精密调控的光源相结合，确保TGV检测质量的可靠性。

自动对焦系统在TGV中的关键作用

通过自动对焦（AF）技术实现精确对焦控制

不同层级的TGV孔形状和尺寸可能有所不同，因此进行分层精确对焦至关重要。特别是在使用高倍率镜头时，景深非常浅，稍有偏差就可能导致对焦错误，进而造成测量不准确。因此，快速且高精度的AF系统对于实现可靠检测尤为关键。

自动对焦（AF）的结构特点及其在TGV中的适用性   

自动对焦（AF）技术大致可分为两种类型：透镜内对焦（TTL）和光学三角测距。两者均利用激光反射光实现对焦，但TTL系统在激光垂直投射进入深孔且反射光难以返回时，存在信号丢失风险；而光学三角测距由于斜角投射，测量更加稳定可靠。

因此，对于涉及多层结构和微米级孔洞检测的TGV应用，光学三角测距法在技术上更为适。

 玻璃通孔（Through-Glass Via, TGV）工艺在先进封装领域具有重要应用潜力，半导体行业应用广泛。