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RSS订阅原创 电阻上方Metal走线的影响
常规铝互联工艺或者高阶铜互连工艺都采用钽做diffusion barrier， 钽对氢气有很强的吸附作用。M1、M2层的钽会把原本用于消除MOS管栅极界面态的氢气吸附，造成MOS管阈值电压的波动，从而影响匹配。应力会改变沟道中载流子迁移率，从而改变MOS管gm 应力还会通过压阻效应改变多晶硅电阻的阻值。3.大块metal覆盖在Rs上可以获得更精细的电阻。2.金属引线中的钽（Ta）对氢气退火工艺的影响。1. 金属引线引起的应力。
2026-06-22 16:02:01
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原创 EPI Basic Knowledge
Reduction of chloro-silanes (SiCl4,SiHCl3,SiH2Cl2, SiH4) at high temperature (~ 900 ℃ - 1150 ℃),H2 as reducing agent/ carrier gas and purge gas. AsH3, B2H6, PH3 as dopant gas. N2 as purge chamber and cool wafer gas. HCl as In-situ etching and cleaning
2025-12-02 14:17:56
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原创 Hugo + Github配置个人博客搭建指南
写在前面正如我前文所说，我在整个的搭建过程中还是踩了不少的坑，究其原因，就是因为太怕麻烦，结果变得更加麻烦，反而浪费时间。所以授人以鱼不如授人以渔，我想在我写的教程里尽量将可能出现的问题和原因都写清楚，也算是对今天这一天不务正业的总结。应该是详细的，不详细的话，只能不详细了。。。希望你已经安装了git。
2023-09-16 11:11:07
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原创 Vscode python配置了numpy包之后无法调用
突然换了一个文件打开，如果发现找不到numpy库，很大可能是vscode将你的python解释器给更换了。而numpy库的安装往往在其中的某一个，例如我的numpy安装在了D盘的Python中。如上所示，除了自己安装的python解释器之外，还有内置的和其他来源的解释器。如果之前已经在vscode中配置好了numpy等其他库并且运行成功了。此时只需要将解释器更换回已安装成功的那个即可。
2023-02-28 23:20:25
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空空如也
空空如也
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