2024年全球抗等离子体陶瓷涂层行业

半导体和平板显示器 (FPD) 生产设备的工作条件极为苛刻。通过电离进行干法蚀刻是目前微细加工的标准方法。然而，晶片蚀刻过程中产生的高浓度自由基（如 CF4/O2 等离子体）会腐蚀腔体内的元件。 由高纯度氧化物陶瓷组成的等离子喷涂涂层可提高等离子室的表面抗侵蚀能力。该涂层主要有氧化铝（Al₂O₃）涂层和氧化钇（Y₂O₃）涂层两类。氧化钇主要用于需要极高抗腐蚀性的环境，如等离子体蚀刻设备的关键部件，因其优越的耐氟化物侵蚀性能而广泛应用于半导体工业。氧化铝常用于一般等离子体蚀刻和涂层中，提供良好的热导率和抗腐蚀性能。一般来说，涂层密度越高，抗蚀刻性和等离子绝缘性就越好。
粉末涂料缺乏溶剂，向大气中排放的挥发性有机化合物（VOC）可以忽略不计，从而降低了使用和储存过程中的燃烧风险。此外，粉末在接触人体皮肤时可以很容易地清洗，从而降低了操作员健康问题的风险。粉末涂料缺乏溶剂，向大气中排放的挥发性有机化合物（VOC）可以忽略不计，从而降低了使用和储存过程中的燃烧风险。此外，粉末在接触人体皮肤时可以很容易地清洗，从而降低了操作员健康问题的风险。ETFE具有优异的加工性能，能够形成具有电气、机械和化学强度的厚而不粘的膜层。FEP和PFA涂层粉末的熔体粘度低，熔体流动性优异，可以提供无针孔的涂层。
据路亿市场策略调研，2023年全球抗等离子体陶瓷涂层市场规模大约为 百万美元，预计2030年达到 百万美元，2024-2030期间年复合增长率（CAGR）为 %。就销量而言，2023年全球抗等离子体陶瓷涂层销量为 ，预计2030年将达到 ，年复合增长率为 %。
2023年，美国抗等离子体陶瓷涂层市场规模约为 百万美元，预计未来几年年复合增长率为 %，同期中国市场规模为 百万美元，并于 %的年复合增长率保持增长。欧洲也是重要的市场，2023年占全球份额为 %，其中德国扮演重要角色。从全球其他地区来看，日本和韩国也是重要的两大地区，预计未来几年CAGR分别为 %和 %。
按产品类型：抗等离子体陶瓷涂层细分为：氧化钇涂层、氧化铝涂层、其他
按应用，本文重点关注以下领域：蚀刻设备、沉积设备、其他
本文重点关注全球范围内抗等离子体陶瓷涂层主要企业，包括：Fujimi Corporation、Saint-Gobain、Entegris、AGC、FEMVIX、SEWON HARDFACING、APS Materials、CINOS APS Coating、CoorsTek、Pentagon Technologies