白光干涉仪能做什么丨科普篇

文章介绍了白光干涉仪的典型应用,包括超精细粗糙度测量如玻璃镜片的0.05nm粗糙度,台阶高度测量如掩模版,形貌测量如菲涅尔膜和金属表面,以及不同条件下的形貌比对和在线自动化测量。

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通过前两期文章,

相信大家已初步了解白光干涉仪原理和优势。

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那白光干涉仪能做什么?

今天小优博士带大家了解白光干涉仪的几个经典用途。

一、超精细粗糙度测量

(例1)玻璃镜片 0.05nm 粗糙度测量

· 优可测白光干涉仪 NA-500拍摄

二、台阶高度

(例2)掩模版台阶高度测量

· 优可测 白光干涉仪 EX-230 拍摄

三、形貌观察&测量

(例3-1)菲涅尔膜形貌测量

· 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄

(例3-2)金属表面研磨后形貌观察&测量

· 优可测 白光干涉仪 EX230 拍摄

四、不同条件下实验形貌比对&测量

(例4)化工材料不同浓度液滴后形貌分析

· 优可测 白光干涉仪 ER230 拍摄

五、“快速扫描”特性可配合机械手、

集成自动化设备进行在线测量

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