MEMS加速度计性能测评

本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。

对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达50 kHz、噪声密度低至25 ¬g/ Hz的加速度计。通过精心设计的信号调理电子电路，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声优势。

SiA202 | 参数 备注 单位 最小值 典型值 最大值
量程 g ±2
非线性 IEEE Norm , %全量程 % 0.3 1.0
频率响应 -3dB Hz 200
谐振频率 过阻尼 kHz 1.4
振动整流误差 均值频率 [50Hz , 2kHz] µg/g2 1300
噪声 频带内 µg/√Hz 7
分辨率 @1Hz µg rms 7
启动响应时间 工作延时运动一次 µs 40
偏值（K0）温度系数 测定范围[-40℃， 85℃] µg/℃ 75
综合偏值（K0）误差 温度范围[-40℃， 85℃] mg 0.14
标度因数（K1）温度系数 测定范围[-40℃， 85℃] ppm/℃ 20 120 220
综合标度因数（K1） 温度范围[-40℃， 85℃] mV/g 1330 1350 1370
温度传感输出电压@20℃ V 1.20 1.23 1.26
温度传感灵敏度 mV/℃ -4.0
复位阈值电压 低电平有效 %VDD 20
工作电压 V 3.2 3.3 3.4
工作电流 mA 2.3 4