踏上青云路的博客

（Robot 取完料再关闭 Loadport）。→ Robot 取料）。

SMIF由三部分组成：用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱，即SMIF晶片盒(pod)；用来打开SMIF晶片盒(pod)的输入输出装置，即smif装载端口(SMIF i/o，SMIF input/output)；为了确保晶圆在不同的制程间运送时的品质，避免晶圆受到尘粒或其它污染，越来越多的运送工作采用标准的运送容器，即采用了标准机械界面(standard mechanical interface,简称SMIF)技术。SMIF技术以“隔离技术”概念为中心。