超薄芯片技术与应用:半导体领域新范式
1. 半导体技术发展现状与挑战
经过40多年的半导体技术发展,如今最小特征尺寸已降至45nm,相较于20世纪70年代初的集成电路,实现了惊人的1000倍缩减。不过,受限于硅晶体的物理结构,进一步缩小器件尺寸可能会面临瓶颈。
目前,半导体技术发展主要有两个方向:
- More Moore(协调小型化) :遵循戈登·摩尔1965年的预测,持续推动最小特征尺寸的缩小。
- More than Moore :国际半导体技术路线图(ITRS)开始关注对最小特征尺寸依赖较小的硅技术应用。
对于硅晶圆制造的基本概念,在这两个发展方向中都未受到质疑。但对于硅技术的初学者而言,会产生一些专业人士可能不会关注的问题,例如:
- 为何从圆形硅晶圆切割矩形芯片时,能接受大量的材料损失?
- 既然仅需硅晶圆顶部1%的层来集成电路组件,为何还要使用厚的硅晶圆基板?
这些问题在半导体制造的经济因素可能成为阻碍之前提出,具有重要意义,也可能激发硅技术新应用的灵感。
2. 超薄芯片技术的优势与应用前景
硅不仅是复杂电路和系统集成的理想半导体材料,还具备出色的机械性能。因此,超薄芯片技术及应用有望成为硅技术的新范式。
超薄芯片具有以下显著优势:
- 增强新兴技术 :极薄且灵活的硅芯片能够将硅芯片技术的高性能与大面积和系统箔(SiF)应用相结合,极大地提升新兴的薄膜和有机半导体技术。
- 突破互连瓶颈
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