應用高解析度線掃描CCD於ITO導電玻璃表面瑕疵檢測之研究

http://ndltd.ncl.edu.tw/cgi-bin/gs32/gsweb.cgi?o=dnclcdr&s=id=%22094NTUS5146003%22.&searchmode=basic

有鑑於現今LCD面板產業的快速發展及其在大量生產製造中對於面板製程高精密零組件的檢測需求，本研究自行建構一套以線掃描CCD視覺系統為基礎的小型自動化光學檢測(AOI)平台。
本檢測平台採用4k解析度的線型CCD及影像擷取卡，搭配鏡頭、線性鹵素燈光源及一龍門式的線性伺服馬達驅動平台，藉由線型CCD配合線性馬達的運動可快速取得較大面積面板的面連續影像。結合影像處理程式的分析可對於較大面積、薄板型式待測物的表面，進行快速瑕疵檢測及判別的目的。進而減少人力及檢測成本的需求，適用於大量生產製造的快速檢測程序。
本研究建構完成之小型自動化光學檢測平台，其線性馬達的有效行程為300mm、最大速度可達3m/s、光學尺解析度為0.1μm，而待測物ITO導電玻璃之尺寸為長300mm、寬350mm、厚度為0.7mm。研究中以影像相減、二值化、灰階直方圖、邊緣強化等影像處理的方法，對ITO導電玻璃可能存在之刮痕、裂痕、粉塵及異物等表面瑕疵進行檢測與判別。文中處理的影像大小為 2048 2048，取像時間為0.4秒，而當CCD的工作距離架設在30mm，鏡頭倍率為1.37倍時，最高掃描檢測解析度可達5μm/pixel。藉由本檢測機台實驗測試的結果，可有效完成ITO導電玻璃表面瑕疵檢測與判別的工作，未來並可應用於平面顯示器相關零組件，如偏光板等之瑕疵檢測。