光刻微影製程（英語：）是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上

于 2023-09-04 10:42:08 发布
阅读量471 收藏 1
点赞数
分类专栏： wiki 文章标签： wiki
版权声明：本文为博主原创文章，遵循 CC 4.0 BY-SA 版权协议，转载请附上原文出处链接和本声明。
本文链接：https://blog.youkuaiyun.com/rocazj/article/details/132664329
版权
光刻微影技术是半导体器件制造的关键步骤，涉及曝光、显影和刻蚀等工艺，用于在衬底上形成精确的几何图形结构。此过程先在衬底上涂抹光阻，经曝光后通过显影液溶解特定区域，再通过刻蚀或离子注入将图形转移到衬底。整个流程包括衬底准备、光阻涂抹、软烘干、曝光、显影、硬烘干、刻蚀或离子注入和光阻去除等多个步骤。

摘要生成于 C知道 ，由 DeepSeek-R1 满血版支持， 前往体验 >

光刻

微影製程（英語：）是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光阻层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含矽晶圆，还可以是其他金属层、介质层，例如玻璃、SOS中的蓝宝石。

概述

在硅晶片上涂光阻剂的甩胶机

下面以衬底上金属连接的刻蚀为例讲解光刻过程。

首先，通过金属化过程，在硅衬底上布置一层仅数纳米厚的金属层。然后在这层金属上覆上一层

最低0.47元/天 解锁文章
半导体制造-光刻-微影(Photo-Lithography)
12-09
1、正负光阻 微影光蚀刻术起源于照相制版的技术。自1970年起，才大量使用于半导体制程之图形转写复制。原理即利用对紫外线敏感之聚合物，或所谓光阻（photo-resist）之受曝照与否，来定义该光阻在显影液（developer）中是否被蚀除，而最终留下与遮掩罩幕，即光罩（mask）相同或明暗互补之图形；相同者称之「正光阻」(positive resist)，明暗互补者称之「负光阻」(negative resist)，如图2-6所示。一般而言，正光阻，如AZ-1350、AZ-5214、FD-6400L等，其分辨率及边缘垂直度均佳，但易变质，储存期限也较短 (约半年到一年之间)，常用于学术或研发单
半导体的光刻工艺全过程及技术讲解
元直的博客
06-02 6511
半导体的光刻工艺全过程及技术讲解 本文出處：旺財芯片 光刻工艺是半导体制造中最为重要的工艺步骤之一。主要作用是将掩膜板上的图形复制到硅片上，为下一步进行刻蚀或者离子注入工序做好准备。光刻的成本约为整个硅片制造工艺的1/3，耗费时间约占整个硅片工艺的40～60%。 光刻机是生产线上最贵的机台，5～15百万美元/台。主要是贵在成像系统（由15～20个直 径为200～300mm的透镜组成）和定位系统（定位精度小...
微纳半导体制程
qq_41950447的博客
11-13 2458
一. 黄光工艺技术（微影技术） 显影液里去显影才能看再硅片上看到图案。 光刻胶分为正胶、负胶。 1. 光刻胶的分类 光刻根据在显影过程中曝光区域的去除或保留可分为两种－正性光刻胶（positive photoresist）和负性光刻胶（negative photoresist）。 正性光刻胶之曝光部分发生光化学反应会溶于显影液，而未曝光部分不溶于显影液，仍然保留在衬底上，将与掩膜上相同的图形复制到衬底上。 负性光刻胶之曝光部分因交联固化而不溶于显影液，而未曝光部分溶于显影液，将与掩膜上相反..
有关EUV光刻机，你需要知道这些
人工智能学家
06-10 3282
来源：technews晶圆制造产业进入7 纳米制程之后，目前全世界仅剩台积电与三星，再加上号称自家10 纳米制程优于竞争对手7 纳米制程的英特尔等，有继续开发能力之外，其...
半导体制造领域显影工艺及显影喷嘴的发展.pdf
08-29
在半导体制造领域中，显影工艺是一个关键的工艺过程，它对半导体器件的制造质量和效率产生了重要的影响。因此，选择合适的显影工艺和显影喷嘴对半导体器件的制造至关重要。 在实际生产中，显影工艺的选择对半导体...
光刻匀胶显影设备结构及工艺原理详解
08-14
光刻匀胶显影是半导体制造中的核心步骤，它直接影响着集成电路的精度和性能。本文将深入探讨光刻匀胶显影设备的结构及其工艺原理。 匀胶工艺流程包括几个关键单元：首先，Adhesion unit（增粘剂处理单元）用于提高...
半导体制造技术-光刻工艺基础讲解
01-23
本文将详细介绍光刻工艺的基础知识，包括显影过程、掩膜版使用、定位误差的控制及最终检验，并强调这些步骤在整个半导体制造过程中的重要性。 显影是光刻过程中的一个关键环节，其目标是将经曝光后的光刻胶转化成所...
芯片制造-半导体工艺制程实用教程第5版
09-07
《芯片制造-半导体工艺制程实用教程第5版》是一本深入探讨集成电路制造技术的专业书籍，对于理解现代信息技术的核心——微电子技术具有极其重要的价值。本书涵盖了从基础理论到前沿技术的广泛内容，旨在帮助读者全面...
发酵基因工程菌.pptx
04-12
发酵基因工程菌.pptx
基于MATLAB/Simulink的三相锁相环(SFT-PLL vs Dalbe-PLL)仿真研究及其应用
04-12
内容概要：本文详细介绍了两种三相锁相环（PLL）方案——滑动连续傅里叶变换锁相环（SFT-PLL）和d-q轴解耦锁相环（Dalbe-PLL）在MATLAB/Simulink R2015b中的实现与比较。SFT-PLL采用滑动窗口进行实时傅里叶变换，能够有效滤除谐波并在频率突变时表现出更快的响应速度；Dalbe-PLL则通过改进的d-q变换实现更好的抗干扰能力，尤其在电压跌落情况下表现更为稳健。文中不仅展示了具体的MATLAB代码实现，还讨论了不同应用场景下的优缺点以及优化技巧。 适合人群：从事电力电子、控制系统设计的研究人员和技术工程师，尤其是对锁相环技术和MATLAB/Simulink仿真感兴趣的读者。 使用场景及目标：适用于需要精确电网同步的应用场景，如新能源并网、变频器控制等。目标是帮助读者理解这两种PLL的工作原理，掌握其实现方法，并能够在实际工程项目中做出合理的方案选择。 其他说明：文章提供了详细的代码片段和仿真结果，便于读者理解和复现实验。同时，针对不同的应用场景给出了具体的建议，如光伏并网选用Dalbe-PLL，电机控制选用SFT-PLL。此外，还提到了一些常见的实现细节和注意事项，如窗口长度的选择、PI参数的调整等。
LabVIEW与Kvaser USBcan实现汽车ECU UDS通讯及Hex文件烧录
04-12
内容概要：本文详细介绍了如何利用LabVIEW和Kvaser USBcan实现汽车ECU的UDS通讯以及Hex文件烧录。首先，通过调用Kvaser API进行CAN总线初始化和通信，确保波特率和通道号正确配置。接着，重点讲解了ISO-TP多帧传输的处理方法，包括滑动窗口机制、流控帧处理和超时重传策略。针对Hex文件解析，文章展示了如何将Intel Hex格式的数据转化为二进制流并处理地址不连续的问题。此外，还涉及了CRC32校验、UDS服务调度（如进入扩展会话、请求下载、传输数据等）、日志记录等功能的具体实现。最后，分享了一些调试经验和优化技巧，如动态调整发送速率、使用TDMS格式存储日志等。 适合人群：熟悉LabVIEW编程环境并对汽车电子控制系统有一定了解的研发工程师和技术爱好者。 使用场景及目标：适用于需要对汽车ECU进行固件更新或调试的专业人士，旨在帮助他们掌握UDS协议的应用，提高工作效率并减少潜在错误。 其他说明：文中提供了丰富的代码片段作为参考，同时强调了实际应用中的注意事项，如设备兼容性和安全性考虑。
chromedriver-mac-x64-137.0.7123.0.zip
最新发布
04-12
chromedriver-mac-x64-137.0.7123.0.zip
MATLAB/Simulink中三相SPWM与THIPWM逆变器仿真的构建与性能对比
04-12
内容概要：本文详细介绍了如何利用MATLAB/Simulink R2015b构建三相SPWM（正弦脉宽调制）和THIPWM（三次谐波注入脉宽调制）逆变器的仿真模型。首先，针对SPWM，文中讲解了如何设置Sine Wave模块生成三相调制波以及Repeating Sequence模块生成载波，并强调了死区时间和PWM生成的关键步骤。对于THIPWM，则着重于调制波中加入三次谐波的方法及其对输出电压的影响。此外，还讨论了两种调制方式的谐波分布特点，指出THIPWM在直流电压利用率上的优势，但也提到其带来的高频谐波问题。最后，作者提供了关于离散化设置、滤波器设计等方面的实用技巧。 适用人群：具有一定MATLAB/Simulink基础，从事电力电子研究或工程设计的技术人员。 使用场景及目标：适用于希望深入了解SPWM和THIPWM工作原理的研究人员和技术人员，旨在通过实际建模加深对这两种调制方法的理解，优化逆变器设计。 其他说明：文中提供的模型文件可在GitHub下载，便于读者进行实践操作。同时提醒读者注意不同MATLAB版本间的兼容性问题。
陈龙老师开发的有限元包 matlab版.zip
04-12
matlab
基于MATLAB的牛顿-拉夫逊法潮流计算程序：支持IEEE标准网络的数据处理与可视化
04-12
内容概要：本文介绍了一个基于MATLAB的潮流计算程序，主要采用牛顿-拉夫逊法进行电力系统仿真。该程序支持IEEE多个标准测试网络（14/30/57/118/300节点），并具有高度的可移植性和服务提升特性。程序由三个主要模块组成：数据加载器、牛顿-拉夫逊法核心以及可视化输出。数据加载器能够灵活地处理多种格式的标准网络数据文件，牛顿-拉夫逊法核心利用稀疏矩阵优化内存占用和计算效率，可视化输出模块提供直观的电压曲线和导纳矩阵三维可视化。此外，程序采用了面向对象的设计，增强了代码的可维护性和扩展性。 适合人群：电力系统研究人员、电气工程学生、MATLAB开发者。 使用场景及目标：适用于电力系统仿真实验室、教学演示、科研项目等场景。主要用于理解和掌握牛顿-拉夫逊法在潮流计算中的应用，提高计算效率和准确性，同时为后续的研究和开发提供基础工具。 其他说明：程序已开源并在GitHub上托管，提供了详细的代码注释和使用指南。建议使用者在实践中不断调整和优化代码，特别是在处理大规模网络时，可以通过多种方式进行性能优化。
2023年四川省一级计算机等级考试训练题.doc
04-12
2023年四川省一级计算机等级考试训练题.doc
MATLAB/Simulink中WindRose工具绘制风玫瑰图及其数据分析应用
04-12
内容概要：本文详细介绍了MATLAB/Simulink中的WindRose工具用于绘制风玫瑰图的方法以及相关数据处理技巧。首先，文章展示了基本的风玫瑰图绘制方法，只需简单的几行代码即可生成专业的风玫瑰图，并能够自定义颜色、方向分割等参数。其次，针对实际应用场景如空气质量预测、季度对比分析等，文中提供了具体的代码实例来展示如何利用WindRose进行多维度的数据可视化。此外，还讲解了如何将图形中的数据提取并保存为表格形式，便于进一步的数据分析和报告制作。最后，分享了一些高级技巧，如处理特殊数据情况、批量生成图像等。 适用人群：适用于有一定MATLAB基础，从事气象、环境科学、风电工程等领域研究的专业人士。 使用场景及目标：①快速高效地完成风向风速数据的可视化；②通过定制化配置满足不同场合的需求；③实现数据的便捷导出与后续分析；④提高工作效率，减少重复劳动。 其他说明：虽然WindRose工具在某些方面存在局限性，但它凭借强大的功能和易用性成为处理气象数据的理想选择。
数据集-part1-沥青路面缺陷目标检测数据集-labelme-6000
04-12
part1包含2000张图片，全部6000张。 当前道路养护领域面临几个显著挑战： 1. 数据稀缺性：大多数机构缺乏高质量的标注数据集来训练可靠的缺陷检测模型 2. 类别不平衡：现有数据集往往只关注裂缝等常见缺陷，忽视修补区域和井盖等重要类别 本沥青路面缺陷目标检测数据集提供6,000张精心标注的高质量图像，包含6个关键类别：裂缝、裂缝修补、坑洞、坑洞修补、井盖及其他。 数据集介绍: https://mp.youkuaiyun.com/mp_blog/creation/success/147170602
ATV61/71变频器30-45Kw驱动板电路详解与常见故障排除
04-12
内容概要：本文详细解析了ATV61/71系列变频器中30-45Kw功率段驱动板的电路设计及其常见故障排除方法。首先介绍了驱动板的整体结构和关键组件，如IGBT驱动部分、光耦隔离电路、电压检测电路、温度检测电路等。接着通过具体实例讲解了各个部分可能出现的问题及解决方案，如电阻阻值偏差、光耦老化、电容耐压不足、跳线错误等。文中还提供了多个实用的代码片段，帮助工程师进行参数配置、故障诊断和性能优化。最后强调了一些维修小技巧和注意事项，确保设备稳定运行。 适合人群：从事变频器维修、维护的技术人员以及相关领域的工程师。 使用场景及目标：①帮助技术人员理解和掌握ATV61/71变频器驱动板的工作原理；②提供详细的故障排查指南，提高维修效率；③指导工程师进行合理的参数配置和性能优化。 其他说明：本文不仅涵盖了理论知识，还包括大量实践经验，对于实际工作中遇到的各种问题都有很好的指导意义。
评论
添加红包

请填写红包祝福语或标题

个

红包个数最小为10个

元

红包金额最低5元

当前余额3.43元 前往充值 >
需支付：10.00元
成就一亿技术人!
领取后你会自动成为博主和红包主的粉丝 规则
hope_wisdom
发出的红包

打赏作者

rocazj

你的鼓励将是我创作的最大动力

¥1 ¥2 ¥4 ¥6 ¥10 ¥20
扫码支付：¥1
获取中
扫码支付

您的余额不足，请更换扫码支付或充值

打赏作者

实付元
使用余额支付
点击重新获取
扫码支付
钱包余额 0

抵扣说明：

1.余额是钱包充值的虚拟货币，按照1:1的比例进行支付金额的抵扣。
2.余额无法直接购买下载，可以购买VIP、付费专栏及课程。

余额充值