诚邀参加“美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源”（上海）研讨会

诚邀参加“美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源”（上海）研讨会

地点：上海
日期：2011年12月2日

邀   请   函

尊敬的老师：　

您好！

很荣幸地邀请您于至2011年12月2日下午14:00-15:00期间到上海瞬渺参加美国ENERGETIQ 高亮度超光谱光源技术研讨会。

Energetiq 是一个制造和分析纳米级产品结构的高级光源开发制造商。该产品主要用于复杂科研项目和工程运用，例如前沿半导体制造和生命科学分析仪器。

Energetiq 的光电产品基于在整个光谱能够产生高亮度的光,从1ns到1000ns以上,具有高度可靠性，操作周期长，体积小等特点.

Energetiq光源主要用途：光谱学分析，显微镜学，和生命科学感应方面；平版印刷术,计量学和光阻材料的半导体制造开发方面；X射线软件显微镜学；也广泛用于同步加速器辐射和传统弧光灯.

 

ENERGETIQ激光驱动光源产品介绍

EQ-99激光驱动光源：

Energetiq自主研发和生产高可靠性，高性能的光源。我们的产品谱线包括软X射线（SXR），远紫外线（EUV）,深紫外（DUV）的谱线,包括可见光到红外光区（IR），波长范围从1nm到1000nm及以上。Energetiq的光源具有结构紧凑，使用方便，性价比高的特点。

 

技术介绍：

电极激光驱动光源技术

Energetiq自主研发的激光驱动光源（LDLS）技术使用连续激光直接加热氙离子至需要的温度，以产生高效的宽频谱光。使用传统的方法，如弧光灯，氘灯，当使用电极连接电源和等离子体时，灯的亮度，紫外能量，使用寿命非常有限。无电极的LDLS技术可以产生少量，高亮度的等离子体，以获取高效的光源，光谱范围包括从深紫外到包括可见光及以上的谱线，并且延长了灯的使用寿命。

․革命性的新技术---连续激光等离子放电

․宽谱线，高亮度

  从170nm到包括可见光区至1000nm以上。

 

无电极Z箍缩等离子体技术

已知的Z箍缩等离子体技术在产生EUV和SXR光时，性能优越。然而，所以目前使用的方法都需要使用电极传导高的放电电流。要产生EUV光，电极需要接触极高温度的等离子体（约500，000℃），此做法会导致电极腐蚀，开裂，甚至熔化。对于连接到光源的任何光学系统，电极残片成为重要的污染源。

Energetiq独特的工艺技术也是基于Z箍缩等离子体技术，但在该过程中避免使用电极，而用诱导方式将电流连入等离子体。Energetiq光源的等离子体被磁性束缚在光墙内，达到热负荷极小化，也极大减少污染残片。

․独特的无电极，无电极电流设计

  --无电极，--无电极残片

․等离子体被磁性束缚，以远离光源组件

--进一步减少残片污染

․磁束缚提供极好的空间稳定性

․低成本，结构简单

 

详细资料下载

 

您也有机会现场与同行专家进行交流沟通！

 

组织单位:  

上海瞬渺光电技术有限公司

时 间: 2011年12月2日  下午14:00-15:00

地 点: 上海市申南路59号泰弘研发园1号楼306室