Phasics公司利用革新的技术研发的SID4波前探测器,该仪器能够提供高分辨率的相位图,可直接测量高发散光束,光路调整方便等特点。
1. 技术特点
◆高分辨率(高达300
x400个采样点)
◆消色差
◆高动态范围
◆高灵敏度
◆操作简便
◆设计简洁紧凑
◆高性价比
2.技术优势
◆高分辨率的相位图
能够提供高分辨率的相位图。标准分辨率为160x120个采样点,最高分辨率可达400x300。高分辨率的探测器能精确测量镜片像差,并能做到较高的测量重复性。
◆具有直接测量高发散光束的能力
我们的波前探测技术具有直接测量光路系统相差的能力,并且无需额外的过渡镜(参见下图)。校准后的光束通过镜片后直接测试。探测器可以测量波前传输时球面波的偏差。尽管有极大的光束偏差(如数值孔径高达0.75),仍然可以做到光路系统与探测器间不使用过渡镜就能测试。
SID4波前探测器
测试条件下光路系统
光源
准直镜
◆消色差
SID4探测器能够匹配CCD整个探测范围,用于不同波长光而无需额外校准,也能用于多色光源。
◆对准方便
SID4探测器无需精确的,很繁冗的校准步骤。分析算法为校准波前探测器提供便利。当布好探测器和光源后,光路系统测试部分可以直接放在光源和SID4探测器之间。并且,也可以很容易的调整光路系统以便于测试,还省去了使用过渡镜以及用它带来的光路位置调整和相差消除的麻烦。
◆符合人体工程学原理
设计紧凑的SID4探测器配置了电脑和专用KALEO软件,其友好的人机界面使光学测量过程更符合人体工程学原理。
◆光学测量专用的KALEO软件
SID4探测器为光学测量配置了专用的Kaleo软件。该软件允许在一次测量中提供完整的测量项目的光学量值特征:相差,PSF,MTF,有效焦距等。定制的特征报告也可编辑。
3.
产品介绍
4.
SID4&SID4-HR参数说明
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SID4
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SID4-HR
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孔径
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3,6 x 4,8 mm2
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8,9 x 11,8 mm2
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空间分辨率
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29,6 μm
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29,6 μm
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采样点/测量点
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160 x 120 ( >19000 points)
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400 x 300 ( >120 000 points)
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波长
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350 nm - 1100 nm
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350 nm - 1100 nm
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动态范围
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> 100 μm
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> 500 μm
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绝对模式下精度
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10 nm RMS
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10 nm RMS
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灵敏度
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3 nm RMS
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2 nm RMS
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采样频率
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60 fps
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10 fps
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重建频率
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> 10Hz (高分辨率)
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> 3Hz (高分辨率)
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尺寸
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49 x 35 x 110 mm
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76 x 63 x 132 mm
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重量
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250 g
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620 g
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