全自动无人化机台以SECS/GEM为基础,通过实时上传机台的数据,所有本地操作远程化,使EAP和机台数据同步,EAP操作和本地人工操作一致。其主要内容就是实现GEM300里的行为规范和操作。台积电已实现相关功能,可实现车间无人化。 本设计主要适用于半导体机台,无人化车间。
主要内容:
1.料盒管理系统 loadport和料盒的信息的同步,操作本地和远程一致 (E87相关内容)
2.料片管理系统 料片信息同步上传,操作本地和远程一致(E90相关)
3.任务管理系统 加工任务信息实时上传,操作本地和远程一致(E40,E94)
4.机台异常信息远程处理系统(E41)
5.工艺模块跟踪系统 跟踪处理模块的执行进度
6.配方远程管理系统
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