全自动化/无人化机台设计

该系统基于SECS/GEM标准,实现实时数据上传和本地操作远程化,确保EAP与机台数据同步。关键功能包括料盒和料片信息的同步管理、任务管理和异常处理的远程操作,以及工艺模块和配方的远程监控,目前在台积电已成功应用,推动了车间的无人化进程,尤其适用于高端前道半导体设备。

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全自动无人化机台以SECS/GEM为基础,通过实时上传机台的数据,所有本地操作远程化,使EAP和机台数据同步,EAP操作和本地人工操作一致。其主要内容就是实现GEM300里的行为规范和操作。台积电已实现相关功能,可实现车间无人化。 本设计主要适用于半导体机台,无人化车间。

主要内容:

1.料盒管理系统  loadport和料盒的信息的同步,操作本地和远程一致 (E87相关内容)

2.料片管理系统  料片信息同步上传,操作本地和远程一致(E90相关)

3.任务管理系统  加工任务信息实时上传,操作本地和远程一致(E40,E94)

4.机台异常信息远程处理系统(E41)

5.工艺模块跟踪系统 跟踪处理模块的执行进度

6.配方远程管理系统

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