SECS/GEM全功能100%符合SEMI标准

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分类专栏： GEM/SECS SEMI 文章标签： gem 自动化
于 2020-07-22 18:15:38 首次发布
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版权

GEM/SECS界面设计

好久没更新了 一直在完善功能，底层符合E4,E5.E30,E37,E39,E40,E87,E90,E94,E95,E116，E157等标准，支持GEM200和GEM300,界面正在完善进展如下：
secs通信
carrier 验证

carrier 验证
mapping验证
mapping验证
在这里插入图片描述
loadport 状态
在这里插入图片描述
job 执行
在这里插入图片描述
job状态
界面不太完善，会一直更新，所有的semi标准相关的功能都有了 ，自勉！
有需求和想交流的微 18911437891

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