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提示：文章写完后，目录可以自动生成，如何生成可参考右边的帮助文档文章目录前言平台独立性连接应用程序SECS-II 协议SECS-II 消息类型SECS/GEM 概念模型变量事件报告报警上报控制状态模型处理程序总结前言SECS/GEM 标识了半导体、电子和光伏行业常用的通信接口类型，已由非营利行业协会 SEMI 标准化。您可以通过其网站 http://www.SEMI.org 获得 SEMI 标准的副本。由于有许多与设备自动化和软件相关的标准，我们的建议是获取所有标准的 CDROM 订阅，而不是单独

目录1. FA(Factory Automation)的目的2. 半导体设备通信标准2.1 标准描述2.2 总体结构2.3 通信标准的历史2.4 通信协议分层结构3. SECS-I通信标准3.1 硬件通讯3.2 数据块传输协议3.3 消息格式3.4 握手信号3.5 超时4. HSMS通信标准4.1 TCP/IP 的使用4.2 HSMS的控制消息4.3 HSMS的状态转换4.3.1 状态图4.3.2 被动模式连接的状态转换4.3.3 主动模式连接的状态转换4.4 HSMS的消息格式4.4.1 一般消息格式4.