智芯传感“MEMS结构共振疲劳试验方法”成为中国国家标准

导读：一流企业做标准，只有符合标准的技术认证、掌握标准制定权，才可以让企业在激烈的市场竞争中保持核心竞争力。企业如此，行业更是如此，对于传感器领域，从设计、制造、测试、封装等方面，目前很多都是采用国外标准，打造传感器行业中国国家标准，对我国传感器企业发展具有重要意义。

MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器。随着MEMS技术产业的日益成熟，MEMS传感器种类越来越多，性能也越来越强大，产品已广泛应用于汽车、医疗、工业、消费电子等众多领域，是我国在“十四五规划”中重点发展的领域。不过，相对于MEMS工艺的迅速发展，MEMS可靠性的相关研究在我国还不够成熟，与国外相比落后了很多，关于MEMS可靠性的评估方法在行业内鲜有标准化。

近年，由北京智芯传感科技有限公司（简称：智芯传感）参与的“微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法”成为中国国家标准，国标号为GB/T 38447-2020，为MEMS传感器在共振情况下疲劳失效试验寻找到了一个国家认可的标准方法。

为什么共振疲劳试验对MEMS结构的传感器如此重要？我们首先了解一下什么是共振。