PVT(Process Voltage Temperature)

本文介绍了芯片制造过程中存在的工艺偏差及其对芯片性能的影响。详细解释了PVT(Process,Voltage,Temperature)概念,并列举了五种不同的Process Corner。此外还讨论了在不同PVT条件下芯片的工作状态。

芯片制造是一个物理过程,存在着工艺偏差(包括掺杂浓度、扩散深度、刻蚀程度等),导致不同批次之间,同一批次不同晶圆之间,同一晶圆不同芯片之间情况都是不相同的。
在一片wafer上,不可能每点的载流子平均漂移速度都是一样的,随着电压、温度不同,它们的特性也会不同,把他们分类就有了PVT(Process,Voltage,Temperature)。

Process Corner

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Process分为5个不同的corner(第一个字母代表NMOS,第二个字母代表PMOS):

  1. TT:Typical N Typical P
  2. FF:Fast N Fast P
  3. SS:Slow N Slow P
  4. FS:Fast N Slow P
  5. SF:Slow N Fast P
    Process Corner都是针对不同浓度的N型和P型掺杂来说的。NMOS和PMOS在工艺上是独立做出来的,彼此之间不会影响。通过Process注入的调整,模拟器件速度快慢,同时根据偏差大小设定不同等级的FF和SS。正常情况下大部分是TT,而以上5种corner在+/-3sigma可以覆盖约99.73%的范围,这种随机性的发生符合正态分布。
    根据偏差大小设定不同等级的 FF 和 SS,如 2FF 表示往快的方向偏2个Sigama,3SS 表示往慢点方向偏3个Sigama,1.5SS 表示往慢点方向偏1.5个Sigama 。
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