28、解耦控制与晶圆表面缺陷模式识别

解耦控制与晶圆表面缺陷模式识别

1. 解耦控制相关

在控制领域，提出了一种基于端口受控哈密顿（PCH）方法的三水箱液位系统（TTLLS）部分解耦控制方法。通过对系统动态方程在时域进行简单变换，并结合 TTLLS 的控制目标，得到了虚拟控制器与目标控制器之间的关系。随后基于 PCH 方法得出解耦控制器的表达式，并证明了系统的稳定性。

1.1 解耦控制器性能

该解耦控制器具有良好的抗干扰性能，与 PCH 方法相比，具有更好的鲁棒性。例如，当对水箱 3 施加干扰时，在控制器的作用下，水箱 1 的液位会发生反向变化，这有力地解释了 PCH 理论中的能量整形。

1.2 方法步骤

• 动态方程变换 ：对 TTLLS 的动态方程在时域进行简单变换。
• 确定控制器关系 ：结合控制目标，得到虚拟控制器与目标控制器的关系。
• 得出解耦控制器表达式 ：基于 PCH 方法，计算出解耦控制器的表达式。
• 证明系统稳定性 ：运用相关理论和方法，证明系统在该解耦控制器下的稳定性。

2. 晶圆表面缺陷模式识别

随着半导体行业的发展，晶圆生产需求逐渐增加。然而，晶圆制造过程复杂，任何环节的异常波动都可能导致晶圆表面出现缺陷。准确快速地识别晶圆缺陷模式能够及时反映生产过程中的异常问题。

2.1 传统方法的局限性

早期，一些学者应用统计方法进行晶