SECS/GEM300和半导体e84控制器

    SECS（SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2）半导体设备通讯标准

    GEM（Generic Equipment Model）定义了Fab中各个场景下设备行为及其所使用SECS消息。

GEM300也称为300mm标准，FAB是12寸设备的处理作业规范。主要包含协议E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116。

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为什么出现GEM300

    1. 人工搬运Carrier（FOUP）愈发不靠谱。

        一盒Carrier（FOUP）就有25片wafer，整个料盒足足有十几二十斤。

    2. 什么是FOUP？

    前开式晶圆传送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。