制作真空腔体的材料有哪些

真空腔体在半导体制造中扮演关键角色，为光刻、薄膜沉积、离子注入等精密工艺提供纯净、稳定的真空环境。其加工制造涵盖材料选择、精密加工、表面处理等环节，当前面临材料加工难度、密封性能控制等技术挑战。

真空腔体的制作材料选择需要综合考虑强度、放气率、耐腐蚀性以及特定环境适应性等因素。金属材料中，不锈钢凭借优异的耐腐蚀性和低放气率成为超高真空系统的*选，常用于半导体刻蚀腔体和粒子加速器；铝合金则以轻量化和高导热性见长，适用于卫星推进剂储罐等需要减轻重量的场合；钛合金因其无磁性和耐高温特性，多用于航空航天部件。非金属材料方面，石英玻璃耐高温且透光性好，适合高温观察窗等应用，而工业陶瓷则因其出色的电绝缘性能被广泛用于半导体设备。复合材料如铝碳化硅结合了金属和陶瓷的优点，在精密光学平台中表现突出。选材时还需特别注意材料的放气率控制和环境适应性，例如等离子体环境优先考虑耐蚀性更好的陶瓷或钛合金。随着技术进步，新型特种合金和功能涂层的开发正在推动真空腔体材料向更高性能方向发展。