密度测量：3.MEMS技术

简介：本节以truedyne sensor公司为例，介绍了他们的MEMS传感器技术的积累过程。MEMS传感器的技术核心，是硅谐振测量通道，与传统的谐振器技术相比，MEMS传感器具有许多的优点，例如：更小的尺寸、更加广泛的应用，以及即使是在低压、极短的放映时间内也能达到精确的气体密度测量。

 

1.什么是MEMS技术：

MEMS的全称，是Micro-Electro-Mechanical Systems，即微机电系统，该技术是基于硅半导体技术的基础上，在复杂的微系统中结合了微电子和微机械等功能。是在融合多种微细加工技术，并应用微电子技术和最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

半导体技术，是通过使用各种处理技术，在半导体基板（通常由硅制成）上集成几个电子部件（例如光刻和薄膜技术），并组装成芯片。由于芯片生产的各个步骤非常复杂，因此这些步骤会倍增。这些芯片，是由圆形、方形或圆盘形的晶圆制作成的，而晶圆的材料通常与所需基板的材料一致。

半导体技术可实现电子电路的微型化，在传统的电子产品中，电子电路由机械制造的组件组成。 而TrueDyne Sensors AG MEMS芯片具有更高的集成度，不仅具有电子功能，而且还具有与机械和流体相关的性能。

由于对各个组件的要求很高，TrueDyne Sensors 公司的MEMS芯片通常不限于硅基板。 取而代之的是，将不同的材料用于不同的组件，并通过各种组装和连接技术将它们组合在一起。[1]