西门子Camstar配方管理平台（个人总结）

1. 系统概述与需求

• 用户需求：增加设备配方管理功能，工艺工程师能在系统端进行配方参数维护和下发。
• 系统现状：MES系统初始版本无法满足设备配方维护需求，缺少用户对配方自主性功能维护的定义。

2. 功能设计

• 配方管理平台：提供配方管理标准化，配方约束条件，数据标准化，可追溯记录条件值。
• 设备与设备组关系：设备信息从MES系统获取，设备组信息由SMOM系统维护，设备组编码规则为SBZ+4位流水。
• 设备组与工艺关系：获取设备与工艺的关系，工艺代码与名称来源于SMOM平台，设备组可分配多个工艺，不允许重复项目。

3. 配方模板创建

• 模板编码规则：设备组编码+“-”+3位流水。
• 主表值：包括设备组代码、名称、模板代码、描述、状态、下发类型等。
• 子页签：
  • 参数下发：参数代码、名称、描述、规格值等。
  • 程式下发：程式代码、名称、描述、具体路径等。
  • 动态参数：动态参数代码、名称、描述、动态公式等。
  • 约束条件：约束条件代码、名称、描述等。

4. 配方参数创建

• 配方参数：根据设备组中的模板生成对应关系，维护配方参数值、程式路径、动态参数及约束条件。
• 主表值：包括设备组代码、名称、设备代码、名称、模板编码、描述、配方代码、描述、是否启用、下发到设备等。
• 子表：
  • 参数下发：参数代码、名称、描述、规格值、单位等。
  • 程式下发：程式代码、路径名称、描述、具体路径等。
  • 动态参数：动态参数代码、名称、描述、动态公式等。
  • 约束条件：约束条件代码、名称、描述、规格上下限、单位等。
  • 工艺关系：工艺代码、名称等。

5. 报表输出与接口数据记录

• 报表输出：记录配方下发设备、设备请求/PDA请求，便于后续查询。
• MI中的约束条件修改项目：展示设备维度设置的模板，子表中的数据约束条件。

6. 权限与维护

• 模板权限：由自动化管理组/EAP小组管理。
• 配方参数创建：由工艺工程师维护。

7. 注意事项

• 系统管控：同一设备组只能允许一个模板，模板配置由配方管控小组管理。
• 约束条件：每个配方的约束条件需严格限制，不允许相同。
• 数据记录：所有操作需记录创建人、创建时间、修改人、修改时间