天车

高速AMHS天车振动控制技术可行性研究报告 摘要: 针对半导体AMHS天车高速运行(5m/s)下晶圆抓取需满足≤0.25G振动的需求,本研究对比分析了主动与被动防振技术的跨行业应用。主动技术(如磁悬浮、压电平台、加速度反馈)可实现高频实时补偿,但成本较高;被动方案(空气弹簧、阻尼材料)结构简单,但对低频振动抑制有限。推荐采用主被动结合方案,如加速度反馈+空气弹簧隔振,并列举NUM、Herzan、ASML等厂商的核心产品。结论表明,需综合高带宽传感、主动隔振与被动阻尼,兼顾成本与洁净度要求,以实现超低振动目标。 阅读详情

概念:
天车激光定痊系统能够根据用户的需要对货物进行自动跟踪、数据自动采集,同时可以处理一些非正常指

令和无指令倒库功能。计算机系统将采集到的数据通过无线局域网和光缆舆到三级计算机,与三级计算机

之间的通讯能完全满足生产管理和三级计算机的要求。

系统配置:天车定位系统装置
激光测量定位仪XY轴
放置编码器Z轴
重量信号采集装置
激光器防尘恒温装置
激光测距仪反射板
中央电控柜

系统原理:
天车激光位检测装置是在吊车上用一台激光测量定位仪动态测量大车行走的精确位置即X轴方向上的位置

,用另一台激光测距仪动态测量小车行走的精确位置即Y轴方向上的位置,测距仪需要在被测量的方向的

终端安装一个反射镜(美国PHI的测距仪  测量范围0.5---1000米,精度+/-10MM)。以上是二维空间的定

位。
Z轴方向上的位置是由放置编码器测量,编码器上装备有一个异步串行RS422接口。它装在钢缆的卷筒上,

并通过标定它在吊钩运行的范围内可以精确测量被测物体上下移动的动态位置。三维全定了。
吊具是否吊物体则是通过吊具上的测重仪或是采集PLC上的开关量信号,通过其反馈信号来确认物体的存

在及重量。所有数据采集汇兑到中央控制柜里的数据采集中心,通过中心进行处理后,通过以太网RJ45连

接车载终端PC机上,车载通过tcp/ip读取所需要的数据,并应用于原无线通讯系统当中进行定位升级。

激光器防尘恒温装置
温度控制采用半导体传导系统,通过在测距仪箱内的温度探头临近内部工作温度,有专门的控制电路实现

温度;测距仪本身具有抗10G全方位震动,同时测距仪减震箱及安装减震恒温箱的固定支架,采用平行结构

设计原理,能够起到较好的减震效果,并加装橡胶减震护垫内部有缓冲垫震。整个恒温防护系统采用了全

密闭设计,有效地防止外界环境污染物进入。

小车,Y轴移动
大车,X轴移动

信号采集器装置:
 通过吊车固有的限重装置或吊车电动夹钳本身控制装置,吊车激光定位系统可以从其中的控制电

路部分得到吊车当前的负重数据,经过进行适当的信号转换,然后汇总到数据采集中心,处理该信号数据

,最终提供给吊车激光定位导航装置使用。

中央控制柜:
 车载中央电控柜 PHI-DKl000B 是激光定位导航系统车载部分的电源供应设备和数据采集中心装

置,它负责对车载设备的电源保护和相关数据采集和传输,并配备有 AC/DC 开关电源和UPS电源。

数据采集中心
 负责采集X、Y轴激光测距仪和重量信号装置的数据汇总到数据中心,经过中心处理后,以标准接

口形式(串口232或422)上传给车载工业PC机,车载工业PC机可通过标准以太网通讯协议(TCP/IP)读取相

关数据。

接口:
所有数据采集汇总到中央控制柜里的数据采集中心,通过中心进行处理后,通过以太网RJ45线连接到车载

终端PC机上,车载终端PC机通过标准工业通讯协议(TCP/IP)即可读取所需数据,并应用于无线通讯系统当

中进行定位升级。

 

RFID技术半导体天车设备上的应用 在行驶到相应的存储/放置位置时,半导体RFID读写器再次识别目的地的标签信息,并将符合的信息的FOUP晶圆盒放到相应的位置,同时将拿取到放置时所有的信息上传到管理系统处,若是产品有瑕疵等不良品的出现,可依据这些数据进行产品生产运输过程的溯源,帮助快速定位到问题点上。在当前的制造业环境中,无人化和自动化已经成为了发展的主流趋势,加之在半导体制造业中,12寸的晶圆盒尺寸大,重量重,人工长期搬运会对身体有损伤,而且人工搬运也会对产品的良品率造成影响,因此,半导体制造厂需要提升自身的自动化水平。 阅读详情

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BlackSeptember
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