使用4200A-SCS参数分析仪实现对器件的C-V测量-安泰测试Agitek

文章详细介绍了4200A-SCS参数分析仪的4215-CVU和4210-CVU模块在进行C-V和AC阻抗测量中的应用,包括测量原理、设备特性、电路设计以及软件控制。这些测量工具用于确定各种电子器件的参数,如MOSCAPs的氧化物电容、BJT的电容等。Clarius软件提供实时测量、补偿和滤波等功能,确保测量准确性。此外,文章还强调了正确选择线缆、连接和测试配置对于优化测量结果的重要性。

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各种各样的应用通常要在许多类型的器件上执行 电容 -电压(C-V)和AC 阻抗 测量 。例如,C-V测量用来确定以下器件参数:MOSCAPs的栅极 氧化 物电容、 MOSFET 输入和输出电容、 太阳能电池 的内置电位、 二极管 的多数载流子浓度、BJT端子间的电容、 MI S 电容器 的氧化物厚度、掺杂密度和门限电压。

C-V测量

4215-CVU和4210-CVU都是适用于4200A-SCS参数分析仪的多频(1kHz~10MHz)AC阻抗测量模块(参见图1),让用户能够轻松进行C-V测量。这两种CVU之间的差异在于 测试 频率数量和AC驱动电压。4215-CVU拥有10,000个不同频率,分辨率为1kHz;4210-CVU拥有37个不同频率。4215-CVU的AC驱动电压范围是10mV~1 Vr ms,4210-CVU的AC驱动电压范围是10mV~100mVrms。

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图1.4200A-SCS参数分析仪

CVUs采用独特的 电路 设计,通过Clarius软件控制,支持多种特性和诊断工具,确保测量结果的准确度达到最高。CVU拥有多种内置工具,如实时测量模式、开路、短路补偿、参数提取生成器、滤波、定时控制,并能够在软件中切换AC 电流 表端子。除外,它还采用适当的线缆和C-V测量技术,用户可以进行高度灵敏的电容测量。

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