各种各样的应用通常要在许多类型的器件上执行 电容 -电压(C-V)和AC 阻抗 测量 。例如,C-V测量用来确定以下器件参数:MOSCAPs的栅极 氧化 物电容、 MOSFET 输入和输出电容、 太阳能电池 的内置电位、 二极管 的多数载流子浓度、BJT端子间的电容、 MI S 电容器 的氧化物厚度、掺杂密度和门限电压。
C-V测量
4215-CVU和4210-CVU都是适用于4200A-SCS参数分析仪的多频(1kHz~10MHz)AC阻抗测量模块(参见图1),让用户能够轻松进行C-V测量。这两种CVU之间的差异在于 测试 频率数量和AC驱动电压。4215-CVU拥有10,000个不同频率,分辨率为1kHz;4210-CVU拥有37个不同频率。4215-CVU的AC驱动电压范围是10mV~1 Vr ms,4210-CVU的AC驱动电压范围是10mV~100mVrms。
图1.4200A-SCS参数分析仪
CVUs采用独特的 电路 设计,通过Clarius软件控制,支持多种特性和诊断工具,确保测量结果的准确度达到最高。CVU拥有多种内置工具,如实时测量模式、开路、短路补偿、参数提取生成器、滤波、定时控制,并能够在软件中切换AC 电流 表端子。除外,它还采用适当的线缆和C-V测量技术,用户可以进行高度灵敏的电容测量。